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詳細介紹
分辨率/重復(fù)精度為0.1/0.5 μm時，精度可達（1.1+0.6L/600） μm。
確保垂直度（前部）達6 μm，直線度達4 μm。
全/半空氣浮動系統(tǒng)可調(diào)節(jié)氣墊高度。
帶有基本統(tǒng)計功能，另外，通過RS-232C數(shù)據(jù)輸出與帶有SPC軟件的電腦相連，可實現(xiàn)外部測量數(shù)據(jù)評估。
高度儀可半自動測量時具有單鍵操作功能。
通過Digimatic工具實現(xiàn)數(shù)據(jù)輸入。
為方便用戶操作，可選擇多種信息語言包括英語、德語、法語、西班牙語、意大利語、荷蘭語、葡萄牙語、瑞典語、捷克語、匈牙利語、斯諾文尼亞語、波蘭語、土耳其語、繁體中文*、朝鮮語**和日語。
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