（一）性能概況
1、微波2.45GHz；0～500W或0～1000W足額功率，連續(xù)可調(diào)；
2、本底真空不劣于10Pa；工作氣體分3路控制流（入）量；
3、Φ50mm或Φ90mm石英管反應(yīng)室，置于微波系統(tǒng)和真空系統(tǒng)的偶合點上；
4、制冷循環(huán)水冷卻。
                                （二）典型實驗
1、化學(xué)氣相沉積制備金剛石薄膜、碳納米材料等；
2、集成電路等的刻蝕；
3、可催化引發(fā)常規(guī)化學(xué)很難實現(xiàn)的反應(yīng)；
4、高分子、金屬、生物材料表面改性。
                                 （三）產(chǎn)品特色
1、微波準零泄漏，確保人身安全；
2、微波足額功率，等離子體活力強勁；
3、樣品升降架精巧豪，可加熱可冷卻；
4、制冷循環(huán)水避免長流水費水擾民；
5、循環(huán)水機可聯(lián)機可獨立使用；
6、缺水保護報警功能完善可靠；
7、排氣口有環(huán)保型油霧過濾器；
8、電控系統(tǒng)功能完善靈便醒目；
9、整機造型典雅大氣。