6英寸測試級碳化硅晶體生產(chǎn)廠家 激光冷切割設備

采購6英寸N型碳化硅晶體測試設備，可選擇蘇州恒邁瑞公司，專業(yè)供應4英寸至6英寸碳化硅晶棒，碳化硅切割片及碳化硅襯底晶片，單根碳化硅晶棒厚度約為20mm。D級測試級碳化硅晶體可用于激光冷切割設備，多線切割設備等測試用。

作為第三代半導體材料，碳化硅相較于硅材料，具有大禁帶寬度、高擊穿電場、高飽和電子漂移速度、高熱導率、高抗輻射等特點，適合制造高溫、高壓、高頻、大功率的器件。

目前碳化硅主流的切割方式分為砂漿線切割、金剛線切割、激光切割（水導激光、激光剝離、激光冷切割）。

對于國內(nèi)廠商而言，砂漿線切割技術已應用于絕大部分碳化硅襯底廠商，金剛線切割技術也成為了主流迭代方案。盡管金剛線相較于砂漿線切割優(yōu)勢明顯，但仍存在一些問題：

1、加工效率較低。碳化硅晶錠的長度較短，使用多線切割技術需要先將多個晶錠進行拼接，降低了加工效率。

2、材料損耗率高。加工過程中，切割線會將部分碳化硅材料削磨成碎屑從而產(chǎn)生鋸口損失，并且高速運動會在材料表面形成粗糙切痕，導致材料損耗率高達50%。

3、設備及耗材壽命短。在切割時，金剛線磨損嚴重，切割線的使用壽命以及晶片的翹曲度都受到影響。

4、耗材成本高。金剛線的單位成本高于砂漿線，頻繁更換易磨損的金剛線會增加加工成本