準(zhǔn)分子激光剝離系統(tǒng)
技術(shù)特點(diǎn)：
1、193/248/308nm 激光器，短脈寬，高峰值功率；
2、靜態(tài)氣體壽命 >30 天；
3、激光器壽命 >5億次脈沖；
4、能量密度 10J/cm2；
5、多種光路方案，可定制；
6、同軸機(jī)器視覺示意圖，所見即所得，反射/透射同軸照明；
7、X，Y位移臺安裝在剛性花崗巖基座上，線性驅(qū)動(dòng)，±1mm精度；
8、電動(dòng)焦點(diǎn)控制（沿 Z 軸）；
9、配有同軸和離軸相機(jī)，模式識別軟件可選；
10、功能全面，易于操作的專用加工軟件；
應(yīng)用領(lǐng)域：
1、LED 藍(lán)寶石襯底剝離；
2、柔性屏與玻璃基板剝離；
3、微流控芯片；
4、柔性電路板加工；
5、玻璃表面微結(jié)構(gòu)；
6、MiniLED剝離；
7、MircoLED剝離巨量轉(zhuǎn)移；
8、激光修復(fù)；
9、晶圓與載體激光解鍵合；
光束傳播特點(diǎn)：
1、能量控制范圍 10-80%；
2、縮倍比 4x-20x；
3、焦距 25mm~150mm；
4、目標(biāo)能量密度 0.25-10J/cm2 ；
準(zhǔn)分子激光傳輸/照明/機(jī)器視覺系統(tǒng)示意圖
準(zhǔn)分子激光剝離系統(tǒng)參數(shù)：
| 波長 | 193nm / 248nm / 308nm |
| 脈沖寬度 | 5-20ns |
| 單次剝離尺寸 | < 0.2x0.2mm方光斑或50x0.1mm線光斑 |
| 光學(xué)分辨率 | 1um |
| 能量密度 | 10J/cm2 |
脈沖穩(wěn)定性 | ~1% |
| 脈沖重復(fù)頻率 | 1-100Hz/1000Hz |
| 系統(tǒng)框架 | 大理石光學(xué)基座以及金屬框架結(jié)構(gòu) |
| 機(jī)器視覺 | 同軸照明/觀察，所見即所得 |
| 投影物鏡 | 紫外超長工作距離物鏡 |
| X/Y軸電動(dòng)平臺 | 100mm x 100mm/200mm x 200mm/300mm x 300mm，±1um重復(fù)定位精度 |
| Z軸電動(dòng)平臺 | 25mm，±1um重復(fù)定位精度 |
| 電動(dòng)衰減器 | 10%-80%電動(dòng)連續(xù)可調(diào) |
| 控制軟件 | 10%-80%電動(dòng)連續(xù)可調(diào) |
