荷蘭ISTEQ公司XWS系列寬帶等離子光源
ISTEQ是一家創(chuàng)新的高科技公司，為全qiu各種工業(yè)應(yīng)用開發(fā)了廣泛的現(xiàn)成解決方案-高亮度白光光源。 這些主要用于半導(dǎo)體行業(yè)以及材料分析和光譜學(xué)。ISTEQ主要重點是開發(fā)和制造等離子光源、光譜學(xué)和顯微鏡設(shè)備，適用于從X射線到紅外線的光譜區(qū)域。
產(chǎn)品介紹：
ISTEQ 的 XWS 光源產(chǎn)品經(jīng)過專門開發(fā)，適用于多種應(yīng)用，包括光譜學(xué)、高分辨率顯微鏡、薄膜測量、表面計量等。產(chǎn)品來源基于尖duan技術(shù)，并受quan球?qū)i保護。
XWS 寬帶光源的光譜范圍有 2 種不同配置，具體選取決于其具體應(yīng)用：
無臭氧配置（OFR）：光譜范圍為 240 nm 至 2700 nm
UV 配置：光譜范圍為 185 nm 至 2700 nm
產(chǎn)品特點：
·連續(xù)激光等離子體放電 ·由于無電極，使用壽命長
·寬光譜范圍 190-2500 nm ·發(fā)射體積小
·高光譜亮度 ·高時空穩(wěn)定性 STD < 0.15
·通過軟件、GUI 進行參數(shù)監(jiān)控，外部光源控制
產(chǎn)品應(yīng)用：
·吸收光譜和熒光光譜 ·色譜、微流體、芯片實驗室
·顯微鏡，包括共聚焦和熒光 ·液滴光譜儀、細胞熒光計等中的檢測器。
·微電子診斷系統(tǒng)（污染和缺陷控制） ·生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用（光動力療法等）
·薄膜和臨界尺寸（CD）計量
·人造陽光系統(tǒng)（測試系統(tǒng)、照明等）
型號參數(shù)：
型號 | XWS-30 | XWS-65 | XWS-X | ||
光譜范圍 | 190 - 2500 nm （UV ） 250-2500nm（OFR ） | 190 - 2500 nm （UV） 250 - 2500 nm（OFR） | 190 - 2500 nm （UV） | ||
zui大光譜亮度mW / (mm2·nm·sr)，(350-550 nm） | 48（UV 配置） | 68（UV 配置） 60（OFR 配置） | 130（UV 配置） | ||
自由空間輸出功率 | 高達 1W | 高達 1.8W | 高達 1.5W | ||
光纖耦合輸出功率mW 最小/平均/zui大 | 300 / 319 / 350 | 510/560/630 | 510/575/650 | ||
等離子體尺寸（光譜范圍 350 - 550 nm），μm | 160 x 320 （UV 配置） | 160 x 360（UV 配置） | 150 x 260 （UV 配置） | ||
使用壽命（小時） | 10000 | ||||
時間和空間穩(wěn)定性 （STD） | < 0.15% | <0.05% | |||
光源介質(zhì) | 氙燈 | ||||
自由空間輸出 NA（默認） | 0.5 | 0.4 | |||
zui大輸出NA（根據(jù)要求） | 0.6 | 0.5 | |||
外部光學(xué)接口 | C 接口，30 mm光學(xué)籠 | ||||
等離子體到輸出窗口的距離，mm | 14.4 | 21.5 | |||
光纖接口（僅適用與FCU版本） | SMA或FC | ||||
電源 | 100 - 240 V，50/60 Hz | ||||
氣體清掃（僅適用于 UV 配置） | 氮氣 99.99% | ||||
光頭尺寸mm | 149 x 166 x 145 | 130 x 122 x 106 | 130 x 122 x 106 | ||
電源尺寸 mm | 210 x 85 x 46 | 351 x 175 x 232 | 351 x 175 x 232 | ||
水冷光頭尺寸mm | - | 113 x 150 x 106 | 113 x 150 x 106 | ||
液冷單元尺寸mm | - | 350 x 166 x 184 | 350 x 166 x 184 | ||
