基本參數(shù)
旋轉(zhuǎn)工作臺:
回轉(zhuǎn)精度:(0.025+6H/10000)μm
旋轉(zhuǎn)工作臺軸承類型:氣浮
旋轉(zhuǎn)速度:6rpm
工作臺有效直徑:180mm
較大承載:10kg
較大工件直徑(回轉(zhuǎn)直徑):420mm
較大測量直徑:250mm
垂直軸(Z軸):
垂直移動:320mm
垂直移動方式:電動
較大檢測深度:100mm(較小內(nèi)徑:35mm)
水平臂(X軸):
水平移動:100mm
突出量:25mm
水平移動方式:手動
檢測器:
采集器件:圓光柵
圓周采樣點(diǎn)數(shù):4096點(diǎn)
傳感器類型:電感傳感器
傳感器量程:±300μm
傳感器分辨率:較高0.001μm