集成電路作為集成電路產(chǎn)品的核心部件,其質(zhì)量的好壞直接決定到集成電路整機(jī)產(chǎn)品的性能和可靠性。在集成電路的制備過程中,表面附著的顆粒、有機(jī)物、金屬等污染物嚴(yán)重影響器件的性能。隨著集成電路板中單元圖案的日益小型化和集成度的提高,對(duì)器件性能、可靠性、產(chǎn)量和使用壽命的要求也越來越高。因此,在集成電路制造過程中的許多工藝,如硅氧化、光刻、外延、擴(kuò)散和鉛蒸發(fā)等之前,為了獲得符合清潔度要求的硅片,要用物理或化學(xué)方法去除硅片表面的污染物及其自身的氧化物,但這也產(chǎn)生了大量的廢水。
集成電路板清洗過程中排出的廢水含有纖維物質(zhì)、鉻、鎳、鋅、酸堿等污染成分,如不進(jìn)行有效處理或處理不當(dāng),將對(duì)環(huán)境造成嚴(yán)重污染。天然水體受酸、堿、重金屬污染后,水體的緩沖作用被破壞,使水質(zhì)惡化,抑制或阻止微生物活動(dòng),降低水的自凈能力,還會(huì)對(duì)農(nóng)作物造成危害,重金屬離子對(duì)健康有很大的危害。而且水中的重金屬離子不會(huì)被微生物降解,它們可以在生物體內(nèi)吸附、積累和富集,對(duì)人類、魚類、浮游生物都有非常大的危害,嚴(yán)重時(shí)可造成作物減產(chǎn)或牲畜死亡。
隨著我國(guó)“節(jié)能減排”政策的實(shí)施,在集成電路行業(yè)用水大戶的環(huán)評(píng)批復(fù)中明確提出,除要求廢水達(dá)標(biāo)排放外,還明確要求廢水必須達(dá)到一定的回用率,實(shí)現(xiàn)循環(huán)經(jīng)濟(jì)。在現(xiàn)有技術(shù)中,生產(chǎn)企業(yè)主要是將上述工藝混合在同一個(gè)集成電路清洗廢水回用設(shè)備中進(jìn)行處理,集成電路清洗廢水的成分復(fù)雜,現(xiàn)有設(shè)備對(duì)這種廢水的處理需要使用較多的藥劑進(jìn)行反應(yīng),浪費(fèi)了較多的藥劑,同時(shí)這種廢水設(shè)備的結(jié)構(gòu)復(fù)雜,不利于操作人員進(jìn)行維護(hù)。
萊特萊德的集成電路清洗廢水回用系統(tǒng)工藝合理,運(yùn)行持久穩(wěn)定,經(jīng)濟(jì)效益明顯,環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)性能可控,整體布局高度集成,美觀大方。該系統(tǒng)采用Neterfo極限分離和MVR蒸發(fā)的組合,加上高效的軟化和脫硬系統(tǒng),降低了膜系統(tǒng)結(jié)垢和污染的風(fēng)險(xiǎn),保證了系統(tǒng)的穩(wěn)定運(yùn)行。Neterfo極限分離系統(tǒng)簡(jiǎn)單的模塊化設(shè)計(jì)使其運(yùn)行更加靈活,能夠?qū)崿F(xiàn)集成電路廢水的回用。集成電路清洗廢水回用系統(tǒng)的不斷創(chuàng)新使我國(guó)對(duì)集成電路的需求不斷增加,集成電路廢水的有效回用符合我國(guó)目前的節(jié)水環(huán)保理念。