驅(qū)動器及立柱模塊均采用高速傳動構(gòu)件,使得運動速度大大提高,提高測量效率。
搭配升級版操作系統(tǒng)
升級版操作系統(tǒng),引入了測量對象的概念,可對測量對象進行全面分析。測量報告更加自由靈活,滿足用戶的不同需求。
氣浮防振系統(tǒng),滿足更高精度測量要求
自主研發(fā)的氣浮防振墊,應(yīng)用于威爾更高精度測量產(chǎn)品系列,用戶也可根據(jù)需求進行選配。
更加便捷的控制單元
控制單元集成了常用控制命令按鈕,可方便用戶快速實現(xiàn)運動控制,節(jié)省測量時間。
項目 | 規(guī)格 | |
測量范圍 | X軸 | 120-220mm可選 |
Z軸 | 320-620mm可選 | |
Z1軸 | ±10mm | |
指示精度 | 輪廓儀 | ±(0.5+|0.08H|)μm |
粗糙度儀 | ≤±(6nm+3%) |