基本參數(shù)
X向量程:100mm
Z向量程:320mm
X軸檢測方法:高精度光柵傳感器/分辨率:0.2μm
Z1向量程:±0.5mm,±1.25mm,±2mm,±5mm
X軸精度:±(3+0.02L)μm
Z1軸精度:±0.3%f.s.
X軸直線度:1.2μm/100mm
X軸測量速度: 0.1,0.2,0.5,1mm/s,自定義
驅(qū)動方式及速度:X軸 Z軸均為 電動 4檔,可自定義速度
量程與分辨率比例:65536:1(16位)
傳感器類型:差動變壓器,2段式
參考價 | 面議 |
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產(chǎn)地 | 國產(chǎn) | 類型 | 其他類型 |
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