特點(diǎn)
- 采用即使在負(fù)載發(fā)生突變或者加減速過(guò)大的情況也能夠避免電機(jī)丟步現(xiàn)象的閉環(huán)控制方式，有效地提高了機(jī)械手臂的可靠性
- 電機(jī)配備值編碼器，機(jī)械手臂能夠在任何情況下知道自己的當(dāng)前位置，縮短了機(jī)械手臂各動(dòng)作軸尋找自身位置原點(diǎn)的時(shí)間
- 值編碼器為機(jī)械式，不需要更換電池
- 可以和舊型號(hào)的本司產(chǎn)品兼容（安裝尺寸，性能互換），方便客戶(hù)對(duì)現(xiàn)有設(shè)備的升級(jí)改造
- 高強(qiáng)度手臂?手臂第3關(guān)節(jié)處可承受3 kgf力（包含腕部機(jī)構(gòu)模塊，手指，晶圓的重量）
- 機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng)：100 mm, 130 mm, 160 mm, 200 mm
- Z軸（升降軸）標(biāo)準(zhǔn)長(zhǎng)度：200 mm，300 mm，400 mm，500 mm
- 可根據(jù)設(shè)備布局選擇基座固定方式，或法蘭固定方式
- 可選伯努利方式手指（Option）
對(duì)閉壞控制方式機(jī)械手臂加上疑似多軸規(guī)格。
沒(méi)有水平移動(dòng)軸也能夠搬運(yùn)到并立配置的開(kāi)閉安全門(mén)臺(tái)，由于布局設(shè)計(jì)運(yùn)用自如，降低成本。
*加上揭載了搬運(yùn)介紹動(dòng)畫(huà)疑似多軸規(guī)格
適用于超級(jí)潔凈間要求的3軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手臂
在保持高性?xún)r(jià)比和高速傳輸特性的基礎(chǔ)上，解決了步進(jìn)電機(jī)常見(jiàn)的丟步問(wèn)題，適用于2寸-300 mm晶圓傳輸?shù)男滦蛦伪蹤C(jī)械手臂
應(yīng)用設(shè)備實(shí)例
EFEM，PE-CVD設(shè)備，AOI設(shè)備
規(guī)格
| 被搬運(yùn)物 | 2, 3 寸, 100～300 mm 晶圓 （其他可根據(jù)特殊晶圓的形狀，材質(zhì)為客戶(hù)提供靈活的定制設(shè)計(jì)） | ||
|---|---|---|---|
| 手臂 | 旋轉(zhuǎn) | 升降 | |
| 可動(dòng)范圍* （手臂第3關(guān)節(jié)中心基準(zhǔn)） | 340 mm | 340度 | 300 mm |
| 搬運(yùn)速度 (平均速度)* | 610 mm/sec | 340度/sec | 250 mm/sec |
| 搬運(yùn)速度 (速度)* | 1220 mm/sec | 500度/sec | 320 mm/sec |
| 精度* | 10.0µm以下 | 0.00515度 | 2.0µm |
| 重復(fù)性精度 | ±0.1 mm以?xún)?nèi) | ||
| 潔凈度 | ISO標(biāo)準(zhǔn) Class 2 (驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)內(nèi)部獨(dú)立排氣條件下) | ||
| 廠務(wù) | 電源：DC24V±10% 10A 真空：優(yōu)于-53 kPa | ||
*測(cè)試機(jī)型：SCR3160CSN-300-CM，使用JEL標(biāo)準(zhǔn)真空吸附式手指
