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    產(chǎn)品|二手機(jī)|公司|采購(gòu)|資訊

    3軸圓柱坐標(biāo)型單臂潔凈機(jī)械手臂

    參考價(jià)面議
    具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
    • 公司名稱(chēng)北京銳潔機(jī)器人科技有限公司
    • 品       牌
    • 型       號(hào)MCR3000C
    • 所  在  地
    • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
    • 更新時(shí)間 2022-12-16
    • 訪問(wèn)次數(shù)431
    產(chǎn)品標(biāo)簽:

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    北京銳潔機(jī)器人科技有限公司位于北京亦莊經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū),是由留學(xué)歸國(guó)技術(shù)人員所創(chuàng)辦的高科技技術(shù)型企業(yè)。  公司核心技術(shù)人員擁有在國(guó)內(nèi)外半導(dǎo)體行業(yè)20年的實(shí)際從業(yè)經(jīng)驗(yàn),能夠設(shè)計(jì)可用于半導(dǎo)體設(shè)備的各種自動(dòng)化設(shè)備。公司當(dāng)前的主力產(chǎn)品為小尺寸晶圓自動(dòng)裝卸載系統(tǒng)以及日本潔凈機(jī)械手臂專(zhuān)業(yè)廠家JEL生產(chǎn)的各種潔凈機(jī)械手臂等。  公司自主獨(dú)立研發(fā)的小尺寸晶圓自動(dòng)裝卸載系統(tǒng)具有占地面積小、自動(dòng)化程度高的特點(diǎn),能夠有效的提高產(chǎn)線效率,降低生產(chǎn)成本; JEL公司生產(chǎn)的各種潔凈機(jī)械手臂具有潔凈度高、性價(jià)比好、穩(wěn)定性強(qiáng)的特點(diǎn),能夠滿足中國(guó)客戶需求,適合當(dāng)前的中國(guó)市場(chǎng)。  作為日本JEL公司在中國(guó)地區(qū)的合作伙伴,我公司和JEL公司將持續(xù)不斷的為中國(guó)市場(chǎng)提供專(zhuān)業(yè)、高性價(jià)比的產(chǎn)品以及優(yōu)質(zhì)、快捷的服務(wù)。
    潔凈機(jī)械手臂
    超潔凈無(wú)塵間用300 mm晶圓對(duì)應(yīng)MCR3000C系列適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部,檢測(cè)設(shè)備等的晶圓搬運(yùn)全軸采用AC伺服電機(jī)滿足高速搬送的需求比MHR系列具有更好的性價(jià)比優(yōu)勢(shì)。
    3軸圓柱坐標(biāo)型單臂潔凈機(jī)械手臂 產(chǎn)品信息
    特點(diǎn)

      使用了動(dòng)力強(qiáng)勁的伺服電機(jī),搬運(yùn)速度是同類(lèi)型使用步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)產(chǎn)品的1.5倍,可使用AC200伏電壓

    • 機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng):160 mm
    • Z軸(升降軸)標(biāo)準(zhǔn)長(zhǎng)度:300 mm
    • 可搬運(yùn)重量:手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn)4kgf以下
    • 適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式,或者法蘭固定方式
    • 配備動(dòng)作監(jiān)視器
    • 控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式
    • 全軸使用值編碼器規(guī)格的AC伺服電機(jī)
    • S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓
    • 晶圓固定方式:真空吸附式,下托式,邊緣夾持式,伯努利非接觸式
    • 手指材質(zhì):CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
    • 可以針對(duì)被搬運(yùn)物體種類(lèi),設(shè)備布局等要求提供優(yōu)選的手指

    應(yīng)用設(shè)備實(shí)例

    EFEM;PE-CVD設(shè)備;AOI設(shè)備

    規(guī)格
    被搬運(yùn)物 ?300 mm晶圓
      手臂 旋轉(zhuǎn) 升降
    可動(dòng)范圍*
    (手臂第3關(guān)節(jié)中心基準(zhǔn))
    400 mm 340度 300 mm
    搬運(yùn)速度 (平均速度)* 1000 mm/sec 360度/sec 350 mm/sec
    搬運(yùn)速度 (速度)* 1800 mm/sec 580度/sec 530 mm/sec
    精度* 9.82 µm以下 0.0015度 1.96µm
    搬運(yùn)高度* 639mm(底座固定面到手指上的晶圓安裝面的高度)
    重復(fù)性精度 ±0.1 mm以內(nèi)
    潔凈度 ISO標(biāo)準(zhǔn) Class 2 (驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)內(nèi)部獨(dú)立排氣條件下)
    廠務(wù) 電源:単相AC200V±10% 3 kVA
    真空:優(yōu)于-53 kPa

    *測(cè)試機(jī)型:MCR3160C-300-AM,使用JEL標(biāo)準(zhǔn)真空吸附式手指

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