機床商務(wù)網(wǎng)>產(chǎn)品庫>機器人>工業(yè)機器人>機械手>>5軸水平多關(guān)節(jié)型潔凈機械手臂

5軸水平多關(guān)節(jié)型潔凈機械手臂

參考價	面議

參考價

面議

具體成交價以合同協(xié)議為準

公司名稱北京銳潔機器人科技有限公司
品牌
型號GTCR5000-AM
所在地
廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
更新時間 2022-12-16
訪問次數(shù)376

產(chǎn)品標簽:

詢底價點擊查看聯(lián)系電話

聯(lián)系方式：王先生 17701317358 查看聯(lián)系方式

聯(lián)系我們時請說明是機床商務(wù)網(wǎng) 上看到的信息，謝謝!

索取相關(guān)資料

公司介紹主營產(chǎn)品

北京銳潔機器人科技有限公司位于北京亦莊經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)，是由留學歸國技術(shù)人員所創(chuàng)辦的高科技技術(shù)型企業(yè)。　　公司核心技術(shù)人員擁有在國內(nèi)外半導體行業(yè)20年的實際從業(yè)經(jīng)驗，能夠設(shè)計可用于半導體設(shè)備的各種自動化設(shè)備。公司當前的主力產(chǎn)品為小尺寸晶圓自動裝卸載系統(tǒng)以及日本潔凈機械手臂專業(yè)廠家JEL生產(chǎn)的各種潔凈機械手臂等。　　公司自主獨立研發(fā)的小尺寸晶圓自動裝卸載系統(tǒng)具有占地面積小、自動化程度高的特點，能夠有效的提高產(chǎn)線效率，降低生產(chǎn)成本； JEL公司生產(chǎn)的各種潔凈機械手臂具有潔凈度高、性價比好、穩(wěn)定性強的特點，能夠滿足中國客戶需求，適合當前的中國市場。　　作為日本JEL公司在中國地區(qū)的合作伙伴，我公司和JEL公司將持續(xù)不斷的為中國市場提供專業(yè)、高性價比的產(chǎn)品以及優(yōu)質(zhì)、快捷的服務(wù)。

展開顯示更多內(nèi)容

潔凈機械手臂

產(chǎn)品簡介在線詢價

EFEM；AOI設(shè)備

5軸水平多關(guān)節(jié)型潔凈機械手臂產(chǎn)品信息

特點

擁有適應(yīng)各種不同設(shè)備布局的優(yōu)點，采用動力強勁的伺服電機，雙手臂結(jié)構(gòu)，晶圓搬運效率更高，可使用AC200伏電壓

機械手臂標準臂長：210 mm，280 mm
機械手臂可以單獨對應(yīng)2個FOUP（210 mm臂長）、或者3個FOUP（280 mm臂長）
Z軸（升降軸）標準長度：300 mm
可搬運重量：手臂第3關(guān)節(jié)處基準4kgf以下
雙手指結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間
適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式
配備動作監(jiān)視器
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
全軸采用值編碼器規(guī)格的AC伺服電機
通過S曲線加減速控制方式以及對運動軌跡的優(yōu)化
能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓
晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式
手指材質(zhì)：CFRP（碳纖維），鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
可以針對被搬運物體種類，設(shè)備布局等要求提供優(yōu)選的手指

應(yīng)用設(shè)備實例

EFEM；AOI設(shè)備

規(guī)格

被搬運物	?300 mm晶圓
	手臂	旋轉(zhuǎn)	升降
可動范圍* （手臂第3關(guān)節(jié)中心基準）	553mm	335度	300 mm
搬運速度 (平均速度)*	833mm/sec	250度/sec	300 mm/sec
搬運速度 (速度)*	1400 mm/sec	350度/sec	450 mm/sec
精度*	0.0011度	0.0011度	1.96µm
搬運高度*	698mm（底座固定面到手指上的晶圓安裝面的高度）
重復性精度	±0.1 mm以內(nèi)
潔凈度	ISO標準 Class 2（驅(qū)動結(jié)構(gòu)內(nèi)部獨立排氣條件下）
廠務(wù)	電源：単相AC200V±10% 2 kVA 真空：優(yōu)于-53 kPa