SuperViewW1白光干涉儀光學(xué)三維輪廓測量儀載物臺尺寸為320*200mm（可定制），行程為140*110mm（可定制）；測量的Z向范圍可達10mm（2.5X鏡頭），Z向的精度可高達0.1nm。雙通道氣浮隔振系統(tǒng)設(shè)計，既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作，可以有效隔絕地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動，同時內(nèi)部隔振系統(tǒng)能夠有效隔絕聲波振動，確保儀器在車間也能正常工作。

SuperViewW1白光干涉儀光學(xué)三維輪廓測量儀以白光干涉技術(shù)為原理，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。

產(chǎn)品功能

1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；

2）測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能；

3）測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能；

4）分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

結(jié)果組成：

1、三維表面結(jié)構(gòu)：粗糙度，波紋度，表面結(jié)構(gòu)，缺陷分析，晶粒分析等；

2、二維圖像分析：距離，半徑，斜坡，格子圖，輪廓線等；

3、表界面測量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；

4、薄膜和厚膜的臺階高度測量；

5、劃痕形貌，摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量；

6、微電子表面分析和MEMS表征。

主要應(yīng)用領(lǐng)域：

1、用于太陽能電池測量；

2、用于半導(dǎo)體晶圓測量；

3、用于鍍膜玻璃的平整度（Flatness)測量；

4、用于機械部件的計量；

5、用于塑料，金屬和其他復(fù)合型材料工件的測量。