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    產品|二手機|公司|采購|資訊

    NPC-3500(M)等離子去膠機(刻蝕機)

    參考價面議
    具體成交價以合同協議為準
    • 公司名稱那諾—馬斯特中國有限公司
    • 品       牌
    • 型       號
    • 所  在  地國外
    • 廠商性質生產廠家
    • 更新時間 2022-10-21
    • 訪問次數447

    那諾-馬斯特中國有限公司成立于2015年4月,是服務大中華區(qū)(包含中國大陸,香港,中國臺灣和澳門)的客戶,同時我們在中國大陸設有專門的服務辦公室,提供銷售和售后技術服務。


    那諾-馬斯特中國的主要產品包括薄膜沉積設備、薄膜生長設備干法刻蝕設備、兆聲濕法清洗設備及太空模擬測試設備等等。Nano-Master的前身是那諾-馬斯特美國,該公司是法國那諾-馬斯*限公司于1992年在美國所創(chuàng)立的全資子公司,是一家國ji領xian的缺陷檢測和高速鍍層測量的計量公司。自從1993年開始Birol Kuyel博士全面接管那諾-馬斯特美國并正式更名。


    自2001年Nano-Master開始設計開發(fā)薄膜應用方面的設備,正式面世的系統(tǒng)依次是磁控濺射、PECVD、晶圓/掩模版清洗系統(tǒng)…。應用領域涵蓋了半導體、MEMS、光電子學、納米技術和光伏等。我們的設備包含用于二氧化硅、氮化硅、類金剛石和CNT沉積的PECVD,用于InGaN、AlGaN生長的PA-MOCVD,濺射鍍膜(反應濺、共濺 、組合濺),熱蒸發(fā)和電子束蒸發(fā),離子束刻蝕和反應離子刻蝕,原子層沉積,兆聲清洗以及光刻膠剝離等。三十年左右的時間內Nano-Master已經發(fā)展成為全qiu薄膜設備的供應商,已售出的幾百套設備分布于20多個不同國家的大學、研發(fā)中心和國家重點實驗室。


    我們聘用技術熟練并具有良好教育背景的設計和制造工程師、應用工程師、服務工程師、技術支持人員,使得公司擁有yi流的服務團隊。作為薄膜工藝的設備提供商,我們的目標是提供高品質的服務并始終維持zui高水平的集成度。



    ALD,PECVD,RIE,磁控濺射,熱蒸鍍,電子束,離子束,熱真空試驗,晶圓清洗機,PA-MOCVD
    產地 進口 售后保修期 12個月
    銷售區(qū)域 全國
    NPC-3500(M)等離子去膠機(刻蝕機)概述:NANO-MASTER 等離子去膠和清洗系統(tǒng)是專門設計用來滿足晶圓批處理或者單晶片處理的廣泛應用,從晶圓的光刻膠剝離到表面改性都涉及到。該系列的設備采用PC控制,可以配套不同的等離子源,加熱或不加熱基片夾具,具有*的能力:可以從PE等離子刻蝕切換到RIE刻蝕模式,也就是說可以支持各向同性和各向異性的各種應用。
    NPC-3500(M)等離子去膠機(刻蝕機) 產品信息

    NPC-3500(M)等離子去膠機(刻蝕機)概述:NANO-MASTER 等離子去膠和清洗系統(tǒng)是專門設計用來滿足晶圓批處理或者單晶片處理的廣泛應用,從晶圓的光刻膠剝離到表面改性都涉及到。該系列的設備采用PC控制,可以配套不同的等離子源,加熱或不加熱基片夾具,具有*的能力:可以從PE等離子刻蝕切換到RIE刻蝕模式,也就是說可以支持各向同性和各向異性的各種應用。


    NPC-3500(M)-1.png


    NPC-3500(M)等離子去膠機(刻蝕機)產品特點:

    • 緊湊型立式系統(tǒng)

    • 不銹鋼、鋁制腔體或鐘罩式耐熱玻璃腔

    • 兼容100級超凈間使用

    • 淋浴頭、ICP或微波等離子源

    • 旋轉樣品臺

    • RF偏壓可PID控制加熱到300 °C或冷卻的樣品臺

    • 全自動或手動RF調諧

    • z多可支持4個MFC帶電拋光的氣體管路

    • PC計算機控制的氣動閥

    • 帶密碼保護的多級訪問控制

    • 基于LabView軟件的PC計算機全自動控制

    • 機械泵的壓力可達到10mTorr

    • 250 l/s的渦輪分子泵

    • J限真空為5x10-7Torr

    • 完整的安全聯鎖


    NPC-3000(M)等離子去膠機應用:

    • 有機物以及無機物的殘留物去除

    • 光刻膠剝離或灰化

    • 去殘膠以及內腐蝕(深腐蝕)應用

    • 清洗微電子元件,電路板上的鉆孔或銅線框架

    • 提高黏附性,消除鍵合問題

    • 塑料的表面改型:O2處理以改進涂覆性能

    • 產生親水或疏水表面

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