特點(diǎn)
- 平整度測(cè)量例
- 邊緣排除區(qū)1mm
- 邊緣排除區(qū)3mm
- 放射狀測(cè)量數(shù)據(jù)
- 邊緣滾降分析
- 邊緣鳥(niǎo)瞰圖、截面圖
<Edge Roll-off分析>
根據(jù)表面和背面同步檢測(cè)得到的放射狀測(cè)量結(jié)果,提供符合客戶需求的分析軟件。
性能、規(guī)格
項(xiàng)目 | NANOMETRO®300TT | NANOMETRO®200TT |
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量程 | φ300mm | φ200mm |
顯示分辨率 | 1nm | |
測(cè)頭 | 非接觸激光位移計(jì) | |
測(cè)量方式 | 縱向旋轉(zhuǎn)方式 |