特點
高精度運動結(jié)構(gòu)!
采用高精度氣動滑座、線性伺服馬達等黑田超精密加工技術(shù),實現(xiàn)了高水平的平面度測量。
操作簡單,顯示和解析功能豐富!
為了對測量結(jié)果做出的評價,運用在NANOMETRO®系列銷售業(yè)績中積累的經(jīng)驗,配備了我公司自行開發(fā)的各種顯示和解析軟件。
可對各種工件進行評價!
支持金屬、陶瓷、玻璃、各種晶圓等各種工件。測頭采用可根據(jù)客戶所要求的評價項目和精度進行更換的設(shè)計,可對測定對象做出的評價。
安全性、操作性和高精度兼?zhèn)洌钏际鞈]的結(jié)構(gòu)設(shè)計!
配備大小2種測量工件拆裝門,以保證安全性,同時可用起重機等設(shè)備裝載工件,在設(shè)計中注重操作性。此外,通過將測量中的外部干擾影響控制在限度和將產(chǎn)生熱量的電氣裝配部件分離,實現(xiàn)了高精度測量。
外觀形狀
性能、規(guī)格
項目 | SF-640M | |
---|---|---|
量程 (X × Y) | 650mm × 450mm | |
綜合測量精度 | 0.6μm (※1) | |
重復(fù)精度 | 0.1μm (※2) | |
顯示分辨率 | 0.01μm | |
測頭 | 非接觸激光位移計、電子千分尺 | |
最小數(shù)據(jù)周期 | 1μm | |
測量速度 | 0.5 ~ 50mm/sec | |
軸、導(dǎo)軌 | 陶瓷制氣動導(dǎo)軌 | |
驅(qū)動方式 | X軸:線性馬達 Y軸:伺服馬達 | |
工件重量 | 40kg | |
外觀尺寸 | W1820mm × D1200mm × H1550mm | |
主體的重量 | 1000kg | |
適用電源 | AC200V (50/60Hz) 15A | |
適用壓縮空氣 | 潔凈干燥空氣 0.5MPa | |
空気流量 | 100L/min (ANR) | |
工件高 | 50mm | |
設(shè)置環(huán)境 | 室溫:20oC ~ 25oC(波動在1oC以下) 地面承重強度:耐荷載9800N/m2以上 |
※1 平晶測量時的全面PV值
※2 重復(fù)平晶測量10次時的全面PV值的標準偏差σ
關(guān)于樣品測量
我公司隨時承接樣品測量。有需求的客戶請使用下方的“垂詢表”進行垂詢。