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非接觸式光學(xué)干涉表面輪廓形貌儀

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公司名稱北京瑞普能貿(mào)易有限公司
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更新時(shí)間 2022-08-27
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激光干涉儀,粗糙度儀,圓度儀,測(cè)長(zhǎng)機(jī),三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x,千分尺

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TalysurfCCI非接觸式光學(xué)干涉表面輪廓儀，一臺(tái)*的光學(xué)儀，采用了創(chuàng)新的相關(guān)相干算法，對(duì)拋光的、粗糙的、曲面的、平面的、或者臺(tái)階的表面進(jìn)行掃描，獲取表面的三維形貌數(shù)據(jù)

非接觸式光學(xué)干涉表面輪廓形貌儀產(chǎn)品信息

Talysurf CCI非接觸式光學(xué)干涉表面輪廓儀，一臺(tái)*的光學(xué)儀，采用了創(chuàng)新的相關(guān)相干算法，對(duì)拋光的、粗糙的、曲面的、平面的、或者臺(tái)階的表面進(jìn)行掃描，獲取表面的三維形貌數(shù)據(jù)。

型號(hào)	CCI
測(cè)量方法	相關(guān)相干干涉（CCI）
Z軸分辨率	0.01nm
Z軸測(cè)量范圍	2.2nm
RMS重復(fù)性	＜0.02nm
測(cè)量面積（X.Y）	6.6x6.6mm
特點(diǎn)	非壓電陶瓷閉環(huán)Z軸控制，提高精度，不易損壞
應(yīng)用范圍	MEMS, 芯片，膜厚，鏡頭和玻璃表面分析，磨損測(cè)試和摩擦學(xué)，材料分析，太陽(yáng)能電池，等