- 特點(diǎn):
- 用途:
- 技術(shù)參數(shù):
成像質(zhì)量良好,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)潔
立式結(jié)構(gòu)
操作方便,使用簡(jiǎn)單
中大口徑光學(xué)元件平面面型精度測(cè)量
對(duì)干涉條紋進(jìn)行數(shù)據(jù)分析處理,給出檢驗(yàn)報(bào)告
測(cè)量結(jié)構(gòu):斐索干涉立式結(jié)構(gòu)
通光口徑:Φ200mm
光源波長(zhǎng):632.8nm(進(jìn)口氦氖激光光源)
數(shù)字CCD:1280×960
平面標(biāo)準(zhǔn)鏡:材料:熔石英;PV:λ/20
對(duì)準(zhǔn)方式:兩點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)
相移方式:機(jī)械相移
對(duì)準(zhǔn)視場(chǎng):±2°