- 特點:
- 用途:
- 技術參數(shù):
成像質量良好,結構簡潔
立式結構
操作方便,使用簡單
波長調(diào)諧式條紋分析系統(tǒng)
測量光學平面面型精度
測量光學元件的材料均勻性
對干涉條紋進行數(shù)據(jù)分析處理,給出檢驗報告
測量結構:菲索干涉臥式結構
通光口徑:小端口:φ100mm;大端口二:φ300mm
測試光源:半導體調(diào)諧激光光源,λ=632.8nm;
相機:分辨率1024×1024
φ100mm標準楔形鏡(TF鏡):PV優(yōu)于λ/20(φ100mm內(nèi))
φ300mm標準楔形鏡(TF鏡):PV優(yōu)于λ/20;
φ300mm標準反射鏡(RF鏡):PV優(yōu)于λ/20;
系統(tǒng)精度:PV值 λ/20;
系統(tǒng)重復性精度:RMS重復性優(yōu)于λ/2000;
ZOOM變焦:1-6X連續(xù)變焦;
測試對準方式與角度:快對準與精密對準方式,對準角度≥±15°/±3°
尺寸:2400×1200×500mm
重量:約260Kg