雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展而來的一種外差式干涉儀。傳統(tǒng)單頻激光干涉儀采用單頻技術(shù),容易受到外界環(huán)境干擾,微小的空氣湍流都會引起直流電平變化從而影響測量結(jié)果,這是單頻干涉儀的一個根本弱點。在測試環(huán)境惡劣或測量距離較長時,這一缺點十分突出,而雙頻激光干涉測量儀正好克服了這一缺點。雙頻干涉儀使用雙頻激光,其干涉信號是一個頻率約為1.5-8 M H z的交流信號,當可動棱鏡移動時,雙頻干涉儀的干涉信號只是使原有的交流信號頻率增加或減少了△f,結(jié)果依然是一個交流信號。這個交流信號頻率的改變?nèi)Q于可動棱鏡位置的變化,不受直流光平和電平變化的影響,因此抗力強,適合在各種環(huán)境條件下開展檢測作業(yè)。
雙頻激光干涉測量儀采用外差技術(shù),對環(huán)境干擾不敏感,先天具有抗干擾性好,工作穩(wěn)定的特點,適合在車間生產(chǎn)環(huán)境中使用。鐳測科技推出的LH3000雙頻激光干涉儀,基于清華大學(xué)精密測試技術(shù)及儀器國家重點實驗室多年研發(fā)的核心技術(shù),擁有自主知識產(chǎn)權(quán),技術(shù)指標達到或優(yōu)于國外產(chǎn)品同等水平。LH3000雙頻激光干涉儀通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合,可實現(xiàn)對線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何量的檢測,是高精度線性位移測量、數(shù)控機床校準、三坐標機校準、光學(xué)平臺校準的高效率量測工具。
系統(tǒng)組成:
LH3000雙頻激光頭及附件
LC-2000環(huán)境補償單元
Leice Measure測量軟件、Leice Analysis 分析軟件
線性位移測量鏡組(選配:角度、直線度、垂直度、平面度測量鏡組等)
光學(xué)調(diào)整附件
三腳架及其他測量附件
產(chǎn)品優(yōu)勢:
采用雙頻激光,測量精度高
緊湊設(shè)計,適合外出服務(wù)攜帶
抗力強,大型機床長距離檢測時也能保證穩(wěn)定精準
自動環(huán)境補償,不同溫度、濕度、壓力環(huán)境中也能精確檢測
符合測校國家標準的測量分析軟件
自動生成測量數(shù)據(jù)報表和誤差校正補償文件。
典型頻差7±0.5MHz,測速高達2m/s。
(欲了解更多單頻與雙頻干涉儀的性能特點和差異,請閱覽本網(wǎng)站解決方案欄目中的:雙頻激光干涉儀)
雙頻激光頻差 | 7±0.5MHz |
激光穩(wěn)頻精度 | ±0.03ppm |
真空波長 | 632.99nm |
激光功率 | >0.5mW |
激光光束直徑 | 6mm |
波長補償精度 | ±0.4ppm |
預(yù)熱時間 | <10分鐘 |
雙頻激光頭尺寸(重量) | 230mmx125mmx80mm(2.60kg) |
測量長度范圍 | 0-40m |
測量精度 (使用 LC-2000環(huán)境補償器) | ±0.4ppm* (±0.4μm/m)* |
精度范圍 | 0℃-40℃ |
分辨率 | 1nm |
測量速度 | 2m/s |
系統(tǒng)測量能力 | 線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度 |
接口 | 內(nèi)置 USB 通訊端口,無需單獨接口 |
觸發(fā)脈沖輸入 | 是 |
動態(tài)采集頻率 | 0.1Hz-100kHz |
*注:精度值不包括將材料溫度歸一化為20℃時與其有關(guān)的誤差 |
懇請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。
LH3000雙頻激光干涉儀用于8m龍門銑床校準
LH3000雙頻激光干涉儀用于數(shù)控機床校準 LH3000雙頻激光干涉儀用于10m三坐標校準