PE-25-JW是一款高質(zhì)量的等離子清洗機，非常容易操作和使用，并能確保每次處理效果的一致性，重復性。該系統(tǒng)帶自動過程能力。所有的定時時間（關閉真空泵，產(chǎn)生等離子，氣體穩(wěn)定和排氣）都可以編輯進自動運行的序列。PLC鍵盤用于操作員進入，并將相應的序列存儲起來，以確保重復性。一鍵式氣動和開始工作序列。這是我們成本的等離子清洗機，用于適用于小批量生產(chǎn)，研究和開發(fā)實驗室，測試實驗室，大學等等離子清洗和表面改性應用

所有PLASMA ETCH等離子清洗采用電容平行板設計，是等離子產(chǎn)生方式。PE-25擁有一個150W 50HZ射頻電源，并帶連續(xù)可調(diào)功率能力。系統(tǒng)包含一個3.5"X7"水平直接驅(qū)動型射頻電極，2.5”的間隔高度。配備PLC控制系統(tǒng)，PE-25帶一個氣體通道，可選第二個氣體通道。處理過程自動化，有一個鋁反應腔。

特性：

l 耐用6061 T6圓形鋁真空腔，尺寸5“直徑X8”深

l 單個3.5”X7”水平“直接接觸“ 射頻電極，2.5”的腔體操作空間

l 150W, 50KHZ連續(xù)可調(diào)射頻電源，提供400W選項

l 1個旋轉(zhuǎn)氣體流量計， 0-25毫升/分鐘，帶精確針閥

l 熱電偶真空計 0-1Torr

l PLC微型控制系統(tǒng)，鍵盤輸入界面帶字母顯示。可以存儲一組過程參數(shù)，用于自動過程控制。

電氣和尺寸

反應器尺寸：14"W x 14.5"D x 18"H.

運輸重量約52磅

電壓：220VAC

選項

l 5 CFM 2級直驅(qū)油真空泵， 適合氧氣（需用kryox泵油）

l 第二個旋轉(zhuǎn)流量計用于第二種氣體控制器， 0-25cc/min帶精密針閥

l 100W, 13.56MHz射頻發(fā)生器帶自動調(diào)節(jié)

可選VENUS升級選項

PE-25可以提供VENUS升級選項，包括：

l 適用電腦/筆記本的控制程序

使用含有PLASMA ETCH軟件的臺式機/筆記本，用于自動控制系統(tǒng)運行，編輯工作序列，多個狀態(tài)存儲以及更*的功能。

l 質(zhì)量流量控制器

帶一個質(zhì)量流量控制器。可以配置更多的質(zhì)量流量控制器。