產(chǎn)品描述
蔡司EVO系列電鏡是高性能、功能強(qiáng)大的高分辨應(yīng)用型掃描電子顯微鏡。MA 10用于材料領(lǐng)域,LS 10用于生命科學(xué)領(lǐng)域。該系列電鏡采用多接口的大樣品室和藝術(shù)級(jí)的物鏡設(shè)計(jì)，提供高低真空成像功能，可對(duì)各種材料表面作分析，并且具有業(yè)界的X射線分析技術(shù)。Beamsleeve的設(shè)計(jì)，確保在低電壓條件下提供高分辨率的銳利圖像，同時(shí)還可以進(jìn)行準(zhǔn)確的能譜分析。樣品臺(tái)為五軸全自動(dòng)控制。標(biāo)準(zhǔn)的高效率無油渦輪分子泵能夠滿足快速的樣品更換和無污染(免維護(hù))成像分析。
產(chǎn)品應(yīng)用
掃描電鏡(SEM)廣泛地應(yīng)用于金屬材料(鋼鐵、冶金、有色、機(jī)械加工)和非金屬材料(化學(xué)、化工、石油、地質(zhì)礦物學(xué)、橡膠、紡織、水泥、玻璃纖維)等 檢驗(yàn)和研究。在材料科學(xué)研究、金屬材料、陶瓷材料、半導(dǎo)體材料、化學(xué)材料等領(lǐng)域進(jìn)行材料的微觀形貌、組織、成分分析，各種材料的形貌組織觀察，材料斷口分 析和失效分析，材料實(shí)時(shí)微區(qū)成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面掃描和線掃描分布測量，晶體、晶粒的相鑒定，晶粒尺寸、形狀分析，晶體、晶 粒取向測量。
技術(shù)參數(shù)
- 分辨率： 3.0nm@ 30KV(SE and W) 4.0nm@ 30KV(VP with BSD)
- 加速電壓：0.2—30KV
- 放大倍數(shù)：7—1000000x
- 探針電流：0.5PA-5μA
- X-射線分析工作距離：8.5mm 35度接收角
- 低真空壓力范圍：10—400Pa (LS10:10-3000Pa)
- 工作室：310mm(φ)×220mm(h)
- 5軸優(yōu)中心自動(dòng)樣品臺(tái)：X=80mm Y=100mm Z=35mm T=-10°- 90°R=360°
- 試樣高度：100mm，試樣直徑：200mm
- 系統(tǒng)控制：基于Windows 7 的SmartSEM操作系統(tǒng)
- 存儲(chǔ)分辨率為32,000 x 24,000 pixels
