- 01皮秒光源,效果好
采用皮秒光源,在材料表面進(jìn)行打標(biāo)/打碼,熱影響小,效果好
- 02打標(biāo)/打碼支持多種格式?可支持:QRCode、DMCode、線體文字等多種格式
- 03支持信息上傳
配備讀碼模塊,支持信息上傳MES系統(tǒng)
- 04兼容性及自動(dòng)化程度高
設(shè)備兼容8-12inch晶圓,全自動(dòng)上下料
- 05自動(dòng)開(kāi)關(guān),節(jié)省人工?配備Load機(jī)構(gòu),可自動(dòng)打開(kāi)/關(guān)閉晶圓料盒
- 06大理石基座,穩(wěn)定性高
采用大理石基座,光路系統(tǒng)穩(wěn)定,從而保證高質(zhì)量的光學(xué)傳輸
HD S2113 | 主要技術(shù)參數(shù) | |
激光器參數(shù) | 平均輸出功率 | ≥5W(選配) |
脈沖寬度 | <10ps | |
激光波長(zhǎng) | 光源選配 | |
直線電機(jī)參數(shù) CCD定位系統(tǒng) 讀碼系統(tǒng) | 電機(jī)行程 | 450*650mm |
像素 | 1200萬(wàn)像素,定位精度0.003mm | |
像素 | 600萬(wàn)像素 | |
加工精度 | 定位精度 | ≤±0.03mm |
加工尺寸精度 | ≤±0.02mm | |
搬運(yùn)機(jī)器人 | 機(jī)器人手臂數(shù) | 單/雙臂 |
Finger | 夾持/吸附 | |
其他功能 | 上料機(jī) | 是 |
Mapping功能 | 是 | |
尋邊機(jī) | 兼容8- 12inch | |
通用指標(biāo) | 潔凈等級(jí) | 百級(jí)500 |
設(shè)備尺寸 | 1900mm*1800mm*1950mm(主體) | |
設(shè)備重量 | 約2.5t |