產(chǎn)品特性
雷射顯微鏡的基本特長
觀察
光學(xué)顯微鏡到 SEM 的領(lǐng)域 1 臺(tái)涵蓋
- 42 至 28800 倍
- 不需對焦
- 樣品工件不受限
量測
非接觸式瞬間掃描形狀
- 不損傷目標(biāo)物
- 奈米等級也能正確量測
- 透明體和起伏陡峭的目標(biāo)物也能量測
分析
掌握真正想知道的表面的「差異」
- 細(xì)微形狀的定量化
- 複數(shù)樣本的簡單比較
- 粗糙度分析
三重掃描方式
杜絕「量不到」的問題
可依樣本工件的材質(zhì)、形狀、量測範(fàn)圍，選擇雷射共軛焦、白光干涉、Focus Variation 3種不同掃描原理，達(dá)到高精度量測。
解析度0.01 nm
奈米等級的微小形狀變化也可正確量測。
針對鏡面或透明體等高難度材質(zhì)，也可實(shí)現(xiàn)高速、高精度、大範(fàn)圍的量測。
段差劇烈的凹凸或大範(fàn)圍的量測皆可對應(yīng)
掃描區(qū)域50 mm平方。較大的凹凸或手掌大小的目標(biāo)物皆可完整掃描。全貌與部分形狀雙方皆可一臺(tái)掌握。
高倍率 / 低倍率、平坦 / 凹凸均可
目標(biāo)物不受限的量測對應(yīng)力。
