SJ系列激光干涉儀集光、機(jī)、電、計算機(jī)等技術(shù)于一體，具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點。主要特點是小巧便攜、功能強(qiáng)、無線操作。
產(chǎn)品特點
1）測量精度高
2）檢測功能多
3）可設(shè)定補(bǔ)償方式，自動生成報表
4）具有動態(tài)測量（位移-時間曲線、速度-時間曲線、加速度-時間曲線）及測量振幅和頻率分析的功能
5）內(nèi)置多種機(jī)床檢驗標(biāo)準(zhǔn)
6）可選擇手動或自動對波長進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償
7）安裝方便：基本重量為15kg，簡單便攜。
產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品型號：SJ6000
產(chǎn)品名稱：SJ6000激光干涉儀
穩(wěn)頻方式：雙頻激光熱穩(wěn)頻
穩(wěn)頻精度：0.05ppm
線性測量精度：0.5ppm（0-40）℃
線性測量距離：（0-80）m（無需遠(yuǎn)距離線性附件）
角度測量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m
測量分辨力：1nm
動態(tài)采集頻率：50KHz
預(yù)熱時間：≤6分鐘
工作溫度范圍：（0-40）℃
環(huán)境溫度范圍：（0-40）℃，環(huán)境濕度：0-95%
主要特點：應(yīng)用范圍廣、測量精度高、操作方便
生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司
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SJ系列激光干涉儀采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，其壽命可達(dá)50000小時；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實現(xiàn)高精度、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù)，可實現(xiàn)高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補(bǔ)償；采用高性能計算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù)，支持中文、英文和俄文語言，友好的人機(jī)界面、向?qū)降牟僮髁鞒獭⒑啙嵒挠涗浌芾怼?/p>
結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，激光干涉儀可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態(tài)測量軟件配合下，還可以實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
