J.A. Woollam獲得的 RCE 技術(shù)將旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器橢偏儀與高速 CCD 檢測(cè)相結(jié)合,可在幾分之一秒內(nèi)以多種配置收集整個(gè)光譜(數(shù)百個(gè)波長(zhǎng))。 M-2000 是款真正擅長(zhǎng)從in-situ監(jiān)測(cè)和鍍膜過(guò)程控製到大面積均勻性量測(cè)和表徵薄膜折射率的橢偏儀。沒(méi)有其他橢偏儀技術(shù)能夠更快地獲得全光譜橢偏數(shù)據(jù)量測(cè)。除此以外,M-2000橢偏儀也具有高度的擴(kuò)充性,客戶可自行選擇所需的波長(zhǎng)範(fàn)圍,電控平臺(tái)大小
多角度寬光譜橢偏儀M-2000 特點(diǎn)
- 先進(jìn)的橢偏儀技術(shù):旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償(RCE)技術(shù)的使用,使M-2000獲得了超高的準(zhǔn)確性和重複性。
- 快速光譜探測(cè):RCE設(shè)計(jì)結(jié)合先進(jìn)的CCD探測(cè)技術(shù),使得所有波長(zhǎng)點(diǎn)上的數(shù)據(jù)可以同時(shí)準(zhǔn)確測(cè)量。
- 超寬光譜範(fàn)圍:同時(shí)測(cè)量深紫外到近紅外的超過(guò)700個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)。
- 靈活的系統(tǒng)組合:模組化的設(shè)計(jì)使M2000橢偏儀即可以安裝到任何在鍍膜腔體上(in-situ),進(jìn)行即時(shí)量測(cè),也可以選擇桌上型電控平臺(tái)基座。
- 準(zhǔn)確:先進(jìn)的設(shè)計(jì)保證各種樣品都能獲得準(zhǔn)確的橢偏測(cè)量。
- 可透過(guò)robot整合為線上全自動(dòng)化橢偏儀
- VCSEL量測(cè)
- 氮氧化物薄膜量測(cè)
- ITO量測(cè)
- OLED有機(jī)材料薄膜量測(cè)
- Micro LED鍍層量測(cè)