UNION DCM雙面對(duì)位測(cè)定機(jī)
特性:
- DCM系列獨(dú)特的上、下雙鏡頭設(shè)計(jì),為雙面對(duì)位量測(cè)所開發(fā)的非接觸式光學(xué)量測(cè)儀器。
- DCM可由目鏡(或顯示器)分別觀看正面、背面及雙面結(jié)合影像。
- 搭配精密的測(cè)量平臺(tái),可分別測(cè)量待測(cè)物(sample)的 正、反面的X、Y軸數(shù)據(jù)。
- 顯示雙面結(jié)合影像時(shí)可測(cè)量正、反面的對(duì)位差,精度。
- 總和倍率由50倍至1000倍(上、下鏡頭倍率須相同)。
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應(yīng)用範(fàn)圍:
- 各種雙面製程的對(duì)位測(cè)量
- 晶圓(Wafer) 正、反面凸塊或兩面溝槽的對(duì)位測(cè)量
- 導(dǎo)線架的正/反兩面的對(duì)位測(cè)量
- 微機(jī)電(MEMS)的正、反面的對(duì)位測(cè)量
- 鏡頭選擇裝置,選擇上鏡頭 (Top)後,調(diào)整焦距使畫面為一清晰之影像
- 鏡頭選擇裝置,再選擇下鏡頭 (Bottom),調(diào)整焦距使畫面為一清晰之影像
- 鏡頭選擇裝置,再選擇雙面結(jié)合影像,可同時(shí)看見(jiàn)正、反面的記號(hào)並測(cè)量正、反面記號(hào)的對(duì)位差