產(chǎn)品說明
採用點雷射自動聚焦方式（符合ISO25178-605 Point Autofocus Probe量測原理），雷射聚焦樣品表面掃描，當(dāng)使用x100物鏡聚焦樣品表面時雷射光點尺寸(Spot size)φ1um，可量測微結(jié)構(gòu)表面形貌。
PF-150 適合6寸以下樣品掃描式表面輪廓儀，量程X/Y/Z為150/150/10mm且三軸都用光學(xué)尺解析，樣品放置空間X/Y/Z為200/200/100mm，適合12KgW以下載重各種樣品量測需求。
對於小尺寸陣列樣品量測，例如Micro Lens Array, Pattern Step Height…等，可加購MACRO量測軟體達(dá)到自動化量測需求。
元宇宙商機(jī)帶動的AR鏡片、自由曲面鏡片F(xiàn)ree Form Lens，汽車使用抬頭顯示器鏡片HUD，PF-150提供良好的量測數(shù)據(jù)。
特色
- 適合量測材料：鑽石、透明、液態(tài)膠狀、石墨黑、陶瓷白…等表面輪廓。
- 一次量測樣品同時解析幾何輪廓與表面粗度數(shù)據(jù)
- 適合量測工件：陶瓷基板PATTERN線寬、線高程式自動量測
- 標(biāo)準(zhǔn)分析軟體：2D/3D輪廓及粗度分析、平面度分析
- 選購分析軟體：批次分析、2D/3D CAD比對軟體、非球面評價軟體
- 數(shù)據(jù)重現(xiàn)性佳
規(guī)格
| X軸 | Y軸 | AF(Z1)軸 （量測用） | Z2軸 （定位用） | ||
| 量測距離 | 150mm | 150mm | 10mm | 100mm | |
| 定位分辨率 | 0.1µm | 0.1µm | 0.01µm | 0.1µm | |
| 尺 | 光學(xué)尺 | 光學(xué)尺 | 光學(xué)尺 | 脈衝 | |
| 精度 | (2+4L/1000) µm | (2+4L/1000) µm | (0.3+0.5L/10) µm | ||
| 光學(xué)自動對焦系統(tǒng) | 重現(xiàn)性 | σ=0.03µm（鏡面（樣品）表面） | |||
| 聚焦範(fàn)圍 | ? 1µm（搭配100X 物鏡） | ||||
| 雷射 | 半導(dǎo)體雷射(O/P: 1mW Max λ : 635nm class 2) | ||||
| 量測用物鏡 | 100X (WD=3.4mm NA=0.8) 觀察倍率:約1100倍（9吋螢?zāi)唬?/td> | ||||
| 定位用物鏡 | 5X滑動機(jī)構(gòu)[視野範(fàn)圍] | ||||
| 落射照明 | 科勒照明（光源: 白LED） | ||||
| 其他 | XY平臺尺寸 | 244x240mm | |||
| 樣品高度 | 100mm | ||||
| 樣品重量 | 12kg | ||||
| 儀器尺寸 | 155x90x140cm | ||||
| 避震器 | 彈簧式（震盪<10 hz）=""> | ||||
| 儀器重量 | 210kg | ||||
菲涅爾鏡Fresnel Lens面形量測
適配產(chǎn)品PF-150
元宇宙帶動虛擬實境(VR)、擴(kuò)增實境(AR)商機(jī)，菲涅爾鏡片是重要光學(xué)元件之一。 三鷹光器的量測儀器屬於非接觸形表面掃描輪廓儀，精準(zhǔn)聚焦樣品表面，大行程高精度的輪廓量測儀器，XY軸光學(xué)尺定位精度0.1um，Z軸量測精度10nm光學(xué)尺保證精度。 NH系列量測儀器可結(jié)合影像做XYZ座標(biāo)尺寸量測，或是表面輪廓掃描。
量測應(yīng)用
- 精密光學(xué)：HUD抬頭顯示器鏡片、FREE FORM自由曲面鏡片
- 元宇宙開發(fā)metaverse：虛擬實境 VR(Virtual Reality)鏡片
- 擴(kuò)增實鏡 AR(Augmented Reality)
- CAD比對、粗度量測、非球面評價
- 半導(dǎo)體：光阻輪廓、光波導(dǎo)輪廓、表面粗度量測
光學(xué)鏡片輪廓批次量測
適配產(chǎn)品PF-150
圖一 部件說明：1.工業(yè)級電腦與評估軟體。2.顯示器。3.自動對焦量測系統(tǒng)。4.防震臺與控制器。
圖二 PF-150 機(jī)臺照片與將批次生產(chǎn)的光學(xué)鏡片放載臺上量測方法。
日本三鷹光器產(chǎn)品對於光學(xué)鏡片量測上優(yōu)勢
- 非接觸式量測，不劃傷鏡片。
- 批次量測，每片皆能自動尋心。
- 座標(biāo)與即時影像觀察，掌握缺陷原因
PF-150量測方式依照ISO 25178-605點雷射自動聚焦非接觸式探針法掃描樣品表面輪廓，搭配X-Y量測行程150mm的大範(fàn)圍，可將非球面鏡片直接批次置入載盤上（上如圖一所示）。
開啟批次量測程式並執(zhí)行量測，量測儀器會依照程式步驟移動至每個鏡片位置，並開始進(jìn)行自動尋心後掃描輪廓。掃描完成數(shù)據(jù)可帶入非球面分析軟體，執(zhí)行分析。
由於是非接觸式，量測過程不會造成鏡片刮傷，所以確認(rèn)鏡片數(shù)據(jù)OK後，僅需針對不良品進(jìn)行處置，良品無須再進(jìn)行量測後去刮痕重工（或報廢），即可釋放下一站進(jìn)行後續(xù)作業(yè)。
圖三 非球面分析輪廓擬合結(jié)果，面型PV值=0.15um,R.M.S= 0.2um
即時影像量測與缺陷檢出
即時影像觀察也協(xié)助量測發(fā)現(xiàn)異常品時，可以快速釐清原因。如下案例說明，異物造成擬合PV值異常與清除後的PV值的結(jié)果。由於三鷹光器的量測設(shè)備的具備座標(biāo)與即時影像觀察功能。當(dāng)發(fā)現(xiàn)輪廓分析上有異常的數(shù)據(jù)時，可將鏡頭移動至此處，進(jìn)行進(jìn)一步觀察與分析。此案例發(fā)現(xiàn)造成PV值異常的原因是因異物附著表面造成。後續(xù)針對鏡片進(jìn)行清潔，重新量測後發(fā)現(xiàn)PV明顯改善，並針對可能造成此異物產(chǎn)生的加工步驟加以製程進(jìn)行改善。
圖四 異物造成擬合PV異常的釐清案例。
更進(jìn)一步，上述案例移除異物後,表面觀察到損傷，也可以執(zhí)行進(jìn)一步分析損傷區(qū)域與未受損傷區(qū)域粗度差異，確認(rèn)損傷的程度是否可能對光學(xué)使用上造成影響。
圖五 鏡片表面損傷與否與Ra值差異比較
總和說明，PF-150功能上除了面形測試外，更可以同時具有表面粗度量測的功能，除了單純的量測與評價外，更可以進(jìn)行異常分析，以釐清不良品的原因，並提供後續(xù)異常處裡所需要的評估數(shù)據(jù)。
