產(chǎn)品說(shuō)明
採(cǎi)用點(diǎn)雷射自動(dòng)聚焦方式（符合ISO25178-605 Point Autofocus Probe量測(cè)原理），雷射聚焦樣品表面掃描，當(dāng)使用x100物鏡聚焦樣品表面時(shí)雷射光點(diǎn)尺寸(Spot size)φ1um，可量測(cè)微結(jié)構(gòu)表面形貌。
PF-60 屬於基礎(chǔ)研究用掃描式表面輪廓儀，量程X/Y/Z為60/60/10mm且三軸都用光學(xué)尺解析，樣品放置空間X/Y/Z為200/200/60mm，適合各種產(chǎn)業(yè)小樣品量測(cè)需求。
對(duì)於小尺寸陣列樣品量測(cè)，例如Micro Lens Array, Pattern Step Height…等，可加購(gòu)MACRO量測(cè)軟體達(dá)到自動(dòng)化量測(cè)需求。
特色
- 適合量測(cè)材料：鑽石、透明、液態(tài)膠狀、石墨黑、陶瓷白…等表面輪廓。
- 一次量測(cè)樣品同時(shí)解析幾何輪廓與表面粗度數(shù)據(jù)。
- 適合量測(cè)工件：PCB、Wafer、Lens、刀具、螺桿、軸承、螺牙…等，需量測(cè)表面粗度或微結(jié)構(gòu)輪廓。
- 標(biāo)準(zhǔn)分析軟體：2D/3D輪廓及粗度分析、平面度分析。
- 選購(gòu)分析軟體：批次分析、2D/3D CAD比對(duì)軟體、非球面評(píng)價(jià)軟體。
規(guī)格
| X軸 | Y軸 | AF(Z1)軸 （量測(cè)用） | Z2軸 （定位用） | ||
| 量測(cè)距離 | 60mm | 60mm | 10mm | 60mm | |
| 定位分辨率 | 0.1µm | 0.1µm | 0.01µm | 0.1µm | |
| 尺 | 光學(xué)尺 | 光學(xué)尺 | 光學(xué)尺 | 脈衝 | |
| 精度 | (2+4L/1000) µm | (2+4L/1000) µm | (0.3+0.5L/10) µm | ||
| 光學(xué)自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng) | 重現(xiàn)性 | σ=0.03µm（鏡面（樣品）表面） | |||
| 聚焦範(fàn)圍 | ? 1µm（搭配100X 物鏡） | ||||
| 雷射 | 半導(dǎo)體雷射(O/P: 1mW Max λ : 635nm class 2) | ||||
| 量測(cè)用物鏡 | 100X (WD=3.4mm NA=0.8) 觀察倍率:約1100倍（9吋螢?zāi)唬?/td> | ||||
| 定位用物鏡 | 5X滑動(dòng)機(jī)構(gòu)[視野範(fàn)圍] | ||||
| 落射照明 | 科勒照明（光源: 白LED） | ||||
| 其他 | XY平臺(tái)尺寸 | 210x210mm | |||
| 樣品尺寸 | 70mm（含自動(dòng)對(duì)焦單元的高度 100 mm） | ||||
| 樣品重量 | 4kg | ||||
| 儀器尺寸 | 400x400x450mm | ||||
| 避震器 | 3點(diǎn)支撐墊（振盪 橫向：3.5 垂直：4Hz） | ||||
| 儀器重量 | 31kg | ||||
科勒照明是提供由聚焦和定心的光路和在視場(chǎng)中均勻地分散其的對(duì)比度和分辨率的方法
印刷電路板表面形貌量測(cè)
印刷電路板是電子工業(yè)之母，傳統(tǒng)上，每個(gè)階段的加工檢驗(yàn)都需要使用不同的或是手法進(jìn)行量測(cè)，我們提供非接觸式的輪廓掃描方法，可以大面積，大範(fàn)圍的掃瞄表面輪廓。
PCB盲孔孔型量測(cè)
鑽孔由於會(huì)有擴(kuò)孔的現(xiàn)象，造成孔徑的判斷困難，圖1.從顯微鏡觀察雖可以看出孔內(nèi)有階梯狀結(jié)構(gòu)，但無(wú)法量測(cè)結(jié)構(gòu)的細(xì)節(jié)。傳統(tǒng)上會(huì)需要使用切片的方式輔助工具顯微鏡，判定孔深，三鷹光器點(diǎn)對(duì)焦雷射掃描法，可以量測(cè)出孔內(nèi)的輪廓，XYZ三軸都有光學(xué)尺記錄掃描輪廓，讓使用者能精準(zhǔn)地判定孔徑，孔深。
圖1 PF-60顯微鏡觀察
圖2. 三鷹光器公司開發(fā)點(diǎn)雷射自動(dòng)聚焦雷射掃描量測(cè)法，可以量測(cè)出孔內(nèi)的輪廓，以後對(duì)於此類型的孔形，可以不用切片就能直接量測(cè)出來(lái)了！！
圖2 PCB盲孔斷面掃描輪廓
BGA 表面輪廓掃描：傳統(tǒng)的影像式非接觸式量測(cè)法，100X物鏡底下，僅能觀察到100~200 um的範(fàn)圍，三鷹光器點(diǎn)對(duì)焦雷射掃描法，可以量測(cè)大範(fàn)圍的輪廓,不只表面粗糙度，大範(fàn)圍的面形變化也能一併觀察。
圖3. BGA 量測(cè)分析範(fàn)例。
車刀片刀刃輪廓量測(cè)
適配產(chǎn)品 PF-60
圖一 車刀片放置圖示
日本三鷹光器公司對(duì)於刀具量測(cè)上優(yōu)勢(shì)
- 刀具置放容易
- 快速量測(cè)工件
- 樣品高精度掃描
PF-60量測(cè)方式依照ISO 25178-605點(diǎn)雷射自動(dòng)聚焦探針?lè)⊕呙铇悠繁砻孑喞紫葘悠芬佬蛄兄梅旁诘都苤尉呱先鐖D一所示，開啟程式並執(zhí)行量測(cè)，量測(cè)儀器會(huì)依照程式步驟尋找每個(gè)被測(cè)刀具刀刃位置，並開始執(zhí)行輪廓掃描。掃描完成後可自動(dòng)帶入幾何輪廓自動(dòng)分析軟體，執(zhí)行自動(dòng)量測(cè)。圖二顯示車刀片R角量測(cè)。對(duì)於生產(chǎn)過(guò)程中品質(zhì)檢查的提升有很大幫助。
圖二 自動(dòng)量測(cè)刀刃與自動(dòng)評(píng)價(jià)分析
程式量測(cè)功能除了2D掃描外也可以做3D輪廓掃描（參考圖三），可透過(guò)軟體的在分析功能擷取3D數(shù)據(jù)中的斷面輪廓進(jìn)行分析，有助於開發(fā)單位尋找問(wèn)題缺陷。
圖三 車刀片3D輪廓掃描
MitakaMap刀具評(píng)價(jià)軟體功能也非常完善，可依照客戶需求設(shè)計(jì)自動(dòng)分析表單，將量測(cè)數(shù)據(jù)做成一專業(yè)表單自動(dòng)輸出，圖四是車刀片量測(cè)報(bào)告格式範(fàn)例，內(nèi)容包含幾何尺寸輪廓，表面粗糙度。軟體評(píng)價(jià)基準(zhǔn)是依照ISO 4278標(biāo)準(zhǔn)規(guī)範(fàn)進(jìn)行分析。
分析範(fàn)例如粗度Ra, Rt, Rq…，波紋度 Wa, Wt, Wq…，輪廓度Pa,Pt,Pq…。
對(duì)於其他種規(guī)格的刀刃量測(cè)，歡迎與我們聯(lián)繫討輪。
圖四 車刀片報(bào)表範(fàn)例
