商品特色
- 一個步驟完成粗糙度和輪廓量測。
- 高的量測和定位速度可大幅減少量測時間。
- 刪除創(chuàng)新的測頭系統(tǒng)。
- 快速安全的測針更換，內(nèi)建晶片。
- 長測量長度，高達 260 mm (MarSurf LD 260)，測量行程 13 mm（100 mm 測針長度）或 26 mm（200 mm 測針長度）。
- 模組化設(shè)計，方便維護。
- 維護時無需*拆卸量測立柱。
商品規(guī)格
| LD130 | LD260 | |
| 量測長度﹝Lt﹞ | 0.1~130 mm | 0.1~260 mm |
| 位移速度 | 0.02~200 mm/s | 0.02~200 mm/s |
| 量測速度 | 0.1 mm/s 至 10 mm/s；用於粗度量測，建議 0.1 mm/s 至 0.5 mm/s | |
| 解析度 | 0.8nm | |
| 測針量測範圍﹝Z﹞ | 13mm﹝100mm測針長度﹞ 26mm﹝200mm測針長度﹞ | |
| 量測力量 | 0.5~30 mN 透過軟體調(diào)整 | |
