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| 產(chǎn)品名稱：微位移測量激光干涉儀 角度擺動檢測干涉儀 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 產(chǎn)品型號：ZLM800 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 產(chǎn)品產(chǎn)地：德國 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 制 造 商：德國耶拿爾測量技術(shù)有限公司 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 詳細(xì)介紹: | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
ZLM800微位移測量激光干涉儀——雙頻激光干涉儀，主要用于微位移部件的測量，角度變化量的監(jiān)測，移動平臺運動情況的檢測，及光刻機(jī)幾何量的測量，數(shù)控機(jī)床幾何量的測量，zui多可實現(xiàn)六軸聯(lián)動。具有以下性能優(yōu)勢： l 真正意義上的雙頻激光干涉儀，兩個光束的頻差為640MHz。請用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”概念的區(qū)別。德國耶拿爾公司是為數(shù)不多的雙頻激光干涉儀的制造商，*雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩(wěn)定。 l 全部部件皆在德國生產(chǎn)制造，絕非為了降低成本而在第三方國家進(jìn)行部件加工。光學(xué)組件全部采用蔡司光學(xué)鏡，是世界上*一家將*的蔡司光學(xué)鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的產(chǎn)品制造商。 l 激光器壽命更長，可達(dá)20000小時，激光穩(wěn)頻精度高，一小時內(nèi)為±0.002ppm，在產(chǎn)品壽命內(nèi)可達(dá)±0.02ppm。 l 干涉鏡采用差分干涉原理，系統(tǒng)精度更高，可達(dá)±0.4ppm。 l 計算機(jī)輔助光路調(diào)整，調(diào)整結(jié)果更準(zhǔn)確。 l 采樣頻率更快，zui高達(dá)1MHz，可在0.001Hz-1MHz之間進(jìn)行選擇。 l 被測物體zui大速度16m/s（可選）；采用高精度AE950 PCI數(shù)據(jù)處理器，分辨率達(dá)0.6nm（當(dāng)移動速度為1m/s時，線性分辨率更可高達(dá)為0.1nm）。 l 無加速度限制；當(dāng)光線微弱時，性能也十分穩(wěn)定。 l 信號延時<200ns；對電磁干擾不敏感。 l 對于多軸聯(lián)動的復(fù)雜光路測量和微位移測量，ZLM800型是理想的選擇。 技術(shù)參數(shù)
應(yīng)用案例 以下是為*設(shè)計的ZLM800雙頻激光干涉儀兩個應(yīng)用案例。在*個案例中，用兩個3軸角度干涉儀分別監(jiān)視兩個擺鏡的擺動，實時測試兩個擺鏡對應(yīng)量（俯仰、偏擺和位移）的差異情況。在第二個案例中，用一個3軸角度干涉儀來測試擺鏡的鏡面擺動情況，2個單軸位移干涉儀檢測一個兩軸位移平臺的運動情況。   以下是為國內(nèi)某研究所某項目設(shè)計的ZLM800測量系統(tǒng)。用戶預(yù)先把被測物體放置在密閉箱中，密閉箱留有觀察窗口。所需要測量的數(shù)據(jù)是被監(jiān)視目標(biāo)Ⅰ、被監(jiān)視目標(biāo)Ⅱ的X、Y向的角度變化量，以及這兩個目標(biāo)在Z方向的相對變化量。  ZLM800部分光路圖示例和部件示意圖       | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
微位移測量激光干涉儀 角度擺動檢測干涉儀
| 參考價 | 面議 |
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱上海貝丁漢工業(yè)自動化設(shè)備有限公司
- 品 牌
- 型 號ZLM800
- 所 在 地上海
- 廠商性質(zhì)代理商
- 更新時間 2017-10-16
- 訪問次數(shù)1640
產(chǎn)品標(biāo)簽:
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上海貝丁漢工業(yè)自動化設(shè)備有限公司——主要從事各種進(jìn)
口儀器儀表、機(jī)械設(shè)備、電子產(chǎn)品及其配件等的銷售和技術(shù)服務(wù)工作。 為英國Scantron Industrial Products Ltd公司總代理，美國Hamar Laser Instruments Inc公司中國總代理，德國JENAer公司中國總代理和匈牙利CE Optics中國總代理。經(jīng)營的主要產(chǎn)品包括光學(xué)粗糙度輪廓儀、在線厚度檢測儀、激光直線度測量儀、激光平面度測量儀、激光平行度測量儀、激光垂直度測量儀、孔同軸度檢測儀、主軸對中儀、孔對心軸對中檢測儀、激光幾何測量系統(tǒng)、雙頻激光干涉儀、多點溫度測量儀、相位波前角色散測量儀、材料色散測量儀、載波包絡(luò)相位調(diào)諧儀等。
本公司的激光儀器主要為激光準(zhǔn)直、對中、校正和系統(tǒng)檢測。功能包括各種機(jī)械設(shè)備和部件的平面度檢測、直線度檢測、平行度檢測、垂直度檢測、孔的同軸度檢測、車床和車削中心的主軸對中檢測、聯(lián)軸器和電機(jī)軸的對中校正檢測等。廣泛應(yīng)用于機(jī)床加工中心幾何量檢測、航空航天設(shè)備的組裝和工裝的校正、船舶制造工業(yè)標(biāo)線和艉軸管檢測、汽車發(fā)動機(jī)同軸度、電廠汽輪機(jī)隔板同軸度、各種印刷造紙注塑設(shè)備輥軸的平行度的檢測，及機(jī)床的定位、補償和運動平臺的微位移檢測等。
光學(xué)粗糙度輪廓儀、在線厚度檢測儀、激光直線度測量儀、激光平面度測量儀、激光平行度測量儀、激光垂直度測量儀、孔同軸度檢測儀、主軸對中儀、孔對心軸對中檢測儀、激光幾何測量系統(tǒng)、雙頻激光干涉儀、多點溫度測量儀、相位波前角色散測量儀、材料色散測量儀、載波包絡(luò)相位調(diào)諧儀
微位移測量激光干涉儀 角度擺動檢測干涉儀 產(chǎn)品信息
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