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大族激光是世界主要的激光加工設(shè)備生產(chǎn)廠商之一，2014年公司銷售收入超過(guò)55億元人民幣，位居世界激光企業(yè)前三位，國(guó)內(nèi)激光設(shè)備占有率位。目前公司是廣東省裝備制造業(yè)重點(diǎn)企業(yè)、廣東省產(chǎn)品企業(yè)、深圳自主創(chuàng)新企業(yè)，主要科研項(xiàng)目被認(rèn)定為*火炬計(jì)劃項(xiàng)目。
大族激光為國(guó)內(nèi)外客戶提供一整套激光加工解決方案及相關(guān)配套設(shè)施，主要產(chǎn)品包括：激光打標(biāo)機(jī)系列、激光焊接機(jī)系列、激光切割機(jī)系列、高功率激光切割及焊接設(shè)備、激光演示系列、PCB鉆孔機(jī)系列、直線電機(jī)、LED設(shè)備等多個(gè)系列二百余種工業(yè)激光設(shè)備及其配套產(chǎn)品。公司產(chǎn)品涉及電子電路、集成電路、儀器儀表、計(jì)算機(jī)制造、手機(jī)通訊、汽車配件、精密器械、建筑建材、服裝服飾、城市燈光、金銀首飾、工藝禮品等多種行業(yè)。
主要特點(diǎn)：
設(shè)備特點(diǎn)：
1、整機(jī)模塊化設(shè)計(jì)與集成，提供系統(tǒng)解決方案
2、退火面均勻性高，電學(xué)特性優(yōu)秀
3、兼容4、6英寸薄片晶圓
4、激光分布均勻、能量穩(wěn)定，配置監(jiān)控與補(bǔ)償系統(tǒng)
5、嚴(yán)格控制腔體含氧量和非退火面溫度
6、高精度全自動(dòng)EFEM傳輸模組
7、符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)，支持SECS-GEM通信
主要參數(shù):
| 主要參數(shù) | 加工尺寸 | 4inch、6inch |
| 加工速度 | 1000mm/s | |
| 加工精度 | ±1μm | |
| 平臺(tái)參數(shù) | 行程300mm×300mm 重復(fù)定位精度±0.001mm | |
| 激光器參數(shù) | 紫外 | |
| 稼動(dòng)率 | 98%以上 | |
| 重大故障間隙時(shí)間 | ＞1000H | |
| 良率 | ≥99.5% |
加工效果：
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