主要特點(diǎn):
設(shè)備特點(diǎn):
采用高精度二維直線電機(jī)平臺,DD馬達(dá)晶圓雙臂搬運(yùn)機(jī)器人,全自動視覺定位,設(shè)備配置標(biāo)刻內(nèi)容校驗功能
主要參數(shù):
主要參數(shù) | 加工尺寸 | 2-6inch晶圓片 |
加工速度 | UPH≥60pcs | |
加工精度 | ±10μm | |
平臺參數(shù) | 行程400mm*250mm, 重復(fù)定位精度±0.002mm, DD馬達(dá)重復(fù)定位精度±2arcsec | |
激光器參數(shù) | 紫外納秒,平均功率3W | |
Tact time | <60s | |
稼動率 | / | |
重大故障間隙時間 | / | |
良率 | 99.9% |
加工效果: