主要特點:
設備特點:
1、線形光斑的激光整形技術,實現在不同尺寸加工樣品上的剝離操作
2、氣浮式的工作臺實現無接觸無摩擦的加工形式,避免產生粉塵顆粒,保證裝備內部的潔凈度
3、高精度、大尺寸、雙工位的stage設計,可有效提高生產效率
4、panel載臺吸附設計。激光設備的物料載臺的真空吸附部分,采用了分區(qū)域加時間延遲的設計,先吸附中間部分,再逐次往外圍吸附,保證帶柔性膜的panel可以無皺褶高效吸附
主要參數:
主要參數 | 加工尺寸 | 1"-8" |
加工速度 | 180mm/s | |
加工精度 | 0.1μm | |
平臺參數 | 1)移動精度 X 軸: 0.1μm Y 軸: 0.1μm Z 軸: 1μm Theta 軸: 0.2° 2)定位精度 X 軸: ≤±4μm Y 軸: ≤±4μm Z 軸: ≤±5μm Theta 軸: 0.1° | |
激光器參數 | 1)激光器波長: 308nm 2)激光能量: ≥600W 3)激光脈沖功率: 1000mJ 4)總頻率: 600 Hz 5)脈沖寬度: 24±4ns 6)脈沖穩(wěn)定性: ≤1% | |
工藝方式 | DPSS激光剝離 | |
制程類型 | 激光剝離 | |
Tact time | 1":4.5s 8":6s | |
稼動率 | 0.9 |
加工效果: