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大族激光是世界主要的激光加工設(shè)備生產(chǎn)廠商之一，2014年公司銷售收入超過55億元人民幣，位居世界激光企業(yè)前三位，國內(nèi)激光設(shè)備占有率位。目前公司是廣東省裝備制造業(yè)重點企業(yè)、廣東省產(chǎn)品企業(yè)、深圳自主創(chuàng)新企業(yè)，主要科研項目被認(rèn)定為*火炬計劃項目。
大族激光為國內(nèi)外客戶提供一整套激光加工解決方案及相關(guān)配套設(shè)施，主要產(chǎn)品包括：激光打標(biāo)機系列、激光焊接機系列、激光切割機系列、高功率激光切割及焊接設(shè)備、激光演示系列、PCB鉆孔機系列、直線電機、LED設(shè)備等多個系列二百余種工業(yè)激光設(shè)備及其配套產(chǎn)品。公司產(chǎn)品涉及電子電路、集成電路、儀器儀表、計算機制造、手機通訊、汽車配件、精密器械、建筑建材、服裝服飾、城市燈光、金銀首飾、工藝禮品等多種行業(yè)。
功能：
可清洗晶圓表面的顆粒、有機物、金屬雜質(zhì)、氧化物
特點：
1)相較于真空等離子，可以在常壓下工作
2)工作效率遠(yuǎn)高于真空等離子
3)氬氣等離子輝光為低溫，不會破壞晶圓
| 序號 | 項目 | 規(guī)格參數(shù) |
| 1 | 電源電壓 | 220（±10%）VAC，50/60Hz |
| 2 | 電源需求 | 220VAC/10A以上， |
| 3 | 工作頻率 | 13.65MHz |
| 4 | 設(shè)備功率 | <3.2KW（依實際為準(zhǔn)） |
| 5 | 氣源要求 | 根據(jù)產(chǎn)品選AR，N2，O2等氣體 |
| 6 | 壓縮空氣 | ≥0.3MPa（3kg/cm2） |
| 7 | 主機尺寸 | 1260(L)x600(W)x1980(H)mm |
| 8 | 等離子頭尺寸 | 400(L)x80(W)x60(H)mm |
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