該系列測(cè)座由三種PH10PLUS型號(hào)組成,每種均可選配一系列測(cè)頭與加長(zhǎng)桿,可實(shí)現(xiàn)720個(gè)位置重復(fù)定位,能夠?qū)ψ铍y測(cè)量的工件特征進(jìn)行測(cè)量。這可實(shí)現(xiàn)以不同角度檢測(cè)特征,同時(shí)無需進(jìn)行頻繁而耗時(shí)的測(cè)針組件更換操作。
PH10PLUS測(cè)座的三個(gè)變體均附有重復(fù)性指標(biāo)—提高到0.4μm(2σ)(距離為100mm時(shí)),改善了測(cè)尖定位功能。