晶圓切割膜機(jī)/半自動(dòng)貼膜機(jī)STK-7150
半自動(dòng)晶圓切割膜貼膜機(jī)STK-7150特點(diǎn):
自動(dòng)滾軸貼膜技術(shù);
手動(dòng)放置和取出晶圓/承載環(huán);
自動(dòng)膠膜進(jìn)給和貼膜;
自動(dòng)收隔離紙,適用于UV膜和非UV膜;
自動(dòng)圓形切刀切割膜;
自動(dòng)撕膜,自動(dòng)收廢膜 (選項(xiàng));
晶圓臺(tái)盤溫度可編程控制,MAX可達(dá)120℃;
標(biāo)準(zhǔn)8”、12”晶圓臺(tái)盤用于8”、12”晶圓,可配置金屬臺(tái)盤或高密度陶瓷臺(tái)盤;
PLC控制,帶7”觸摸屏;
配置光簾保護(hù)功能,和緊急停機(jī)按鈕;
三色燈塔和蜂鳴器用于操作狀態(tài)監(jiān)控;
半自動(dòng)晶圓切割膜貼膜機(jī)STK-7150規(guī)格:
貼膜原理:自動(dòng)滾軸貼膜技術(shù);
晶圓直徑:8”、12”;
晶圓厚度:100~750微米;
晶圓種類:正常的V型缺口晶圓;
膜種類:藍(lán)膜、UV膜;
300~400毫米UV/非UV膜;
長(zhǎng)度:100米;
厚度:0.05~0.2毫米;
晶圓承載環(huán):8”、12”DISCO 或者K&S標(biāo)準(zhǔn);
貼膜定位精度:±0.5mm;
裝卸方式:手動(dòng)晶圓/承載環(huán)放置與取出;
防靜電控制:去離子風(fēng)扇;
臺(tái)盤溫度:室溫~ 120℃,可編程控制;
切割系統(tǒng):環(huán)型切刀用于8”、12”DISCO承載環(huán);
控制單元:基于PLC 控制,帶7”觸摸屏;
安全防護(hù):配置光簾保護(hù)和緊急停機(jī)按鈕;
電源電壓:?jiǎn)蜗嘟涣麟?20V,16A;
壓縮空氣: 60 PSI清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘2.5立方英尺;
機(jī)器結(jié)構(gòu):全鋁型材制造,堅(jiān)固耐用;
機(jī)器外殼:白色噴塑金屬外殼;
體積:850毫米(寬)*1450毫米(深)*1700毫米(高);
凈重:350公斤;
晶圓切割膜貼膜機(jī)性能:
晶圓收益:≥99.9%;
貼膜質(zhì)量:沒有氣泡(不包括灰塵顆粒氣泡);
每小時(shí)產(chǎn)能:≥70片晶圓;
MTBF:>500小時(shí);
MTTR:<1小時(shí);
停機(jī)時(shí)間:<3%;
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