晶圓切割膜貼膜機(jī)STK-7120_半自動(dòng)
半自動(dòng)晶圓切割貼膜機(jī)STK-7120規(guī)格:
晶圓直徑:8”& 12”;
晶圓厚度:150~750微米;
晶圓種類:硅, 砷化鎵或其它材料;
單邊,雙邊,V型缺口;
膜種類:藍(lán)膜或者UV膜;
寬度:300~400毫米;
長(zhǎng)度:100米;
厚度:0.05~0.2毫米;
晶圓承載環(huán):8”DISCO 或者 K&S 標(biāo)準(zhǔn);
12”DISCO 或者 K&S 標(biāo)準(zhǔn);
客戶制定標(biāo)準(zhǔn);
貼膜原理:防靜電滾輪貼膜;
晶圓臺(tái)盤:通用(一體式)特氟龍防靜電涂層接觸式臺(tái)盤;或硅膠臺(tái)盤;或多孔金屬臺(tái)盤;或陶瓷臺(tái)盤;
裝卸方式:晶圓/承載環(huán)手動(dòng)放置與取出;
防靜電控制:防靜電特氟龍涂層晶圓臺(tái)盤/防靜電貼膜滾輪/離子風(fēng)扇;
切割系統(tǒng):手動(dòng)軌跡式圓切刀和直切刀;
晶圓定位:通用標(biāo)線/彈簧定位銷;
控制單元:基于PLC 控制,帶5.7”觸摸屏;
安全防護(hù):配置緊急停機(jī)按鈕;
電源電壓:?jiǎn)蜗嘟涣麟?20V,5A;
壓縮空氣:5公斤清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘2立方英尺;
機(jī)器外殼:白色噴塑金屬外殼;
體積:670毫米(寬)*1180毫米(深)*1000毫米(高);
凈重:110公斤;
晶圓切割貼膜機(jī)性能:
晶圓收益:≥99.9%;
貼膜質(zhì)量:沒有氣泡(不包括灰塵顆粒氣泡);
每小時(shí)產(chǎn)能:≥ 80片晶圓;
更換產(chǎn)品時(shí)間:≤ 5分鐘。
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