半自動晶圓切割膜貼膜機(jī)STK-750支持藍(lán)膜、UV膜
半自動晶圓切割膜貼膜機(jī)STK-750特點:
自動滾軸貼膜技術(shù);
手動放置和取出晶圓/承載環(huán);
自動膠膜進(jìn)給和貼膜;
自動收隔離紙,適用于UV膜和非UV 膜;
自動圓形切刀切割膜;
自動撕膜,收廢膜 (選項);
晶圓臺盤溫度可編程控制,MAX可達(dá) 120℃;
標(biāo)準(zhǔn) 8”晶圓臺盤用于 8”晶圓,可配置金屬臺盤或高密度陶瓷臺盤;
PLC控制,帶7”觸摸屏;
配置光簾保護(hù)功能,和緊急停機(jī)按鈕;
三色燈塔和蜂鳴器用于操作狀態(tài)監(jiān)控;
半自動晶圓切割膜貼膜機(jī)STK-750規(guī)格:
貼膜原理:自動滾軸貼膜技術(shù);
晶圓直徑:4”& 8”;
晶圓厚度:100~750 微米;
晶圓種類:正常的V型缺口晶圓;
膜種類:藍(lán)膜、UV 膜;
320 毫米UV/非UV膜;
長度:100 米;
厚度:0.05~0.2 毫米;
晶圓承載環(huán):8”DISCO 或者 K&S 標(biāo)準(zhǔn);
貼膜定位精度:±1mm;
裝卸方式:手動晶圓/承載環(huán)放置與取出;
防靜電控制:去離子風(fēng)扇;
臺盤溫度:室溫~ 120℃,可編程控制;
切割系統(tǒng):環(huán)型切刀用于 8”DISCO 承載環(huán);
控制單元:基于 PLC 控制,帶 7”觸摸屏;
安全防護(hù):配置光簾保護(hù)和緊急停機(jī)按鈕;
電源電壓:單相交流電 220V,16A;
壓縮空氣: 60 PSI 清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘 2.5 立方英尺;
機(jī)器結(jié)構(gòu):全鋁型材制造,堅固耐用;
機(jī)器外殼:白色噴塑金屬外殼;
體積:800 毫米(寬)*1450 毫米(深)*1980 毫米(高);
凈重:350 公斤
半自動晶圓切割膜貼膜機(jī)性能:
晶圓收益:≥99.9%;
貼膜質(zhì)量:沒有氣泡(不包括灰塵顆粒氣泡);
每小時產(chǎn)能:≥80 片晶圓;
MTBF:>500 小時;
MTTR:<1 小時;
停機(jī)時間:<3%;
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