GRISH拋光墊
GRISH拋光墊具有優(yōu)異的互相連接的微孔結(jié)構(gòu),在進(jìn)行拋光處理時(shí)能具備優(yōu)異的拋光穩(wěn)定性、耐磨性和優(yōu)異的漿料保持性,廣泛應(yīng)用于晶片、玻璃、金屬和陶瓷的高平坦化加工。
產(chǎn)品規(guī)格
項(xiàng)目 | 產(chǎn)品規(guī)格 | 測(cè)試方法 |
厚度(mm) | 1.4±0.1 | 游標(biāo)卡尺測(cè)量 |
硬度 | 60±2 | 邵氏(A)硬度計(jì)測(cè)量 |
孔深(mm) | 0.37 | 顯微鏡放大200倍比對(duì)樣品無(wú)明顯差異 |
壓縮率(百分比) | 9 | - |
絨長(zhǎng)(mm) | 0.4±0.05 | 顯微鏡放大200倍比對(duì)樣品無(wú)明顯差異 |
尺寸(mm) | Φ(920±2) | 卷尺測(cè)量 |
備注1:可根據(jù)顧客需求提供不同厚度、尺寸的拋光墊產(chǎn)品;
備注2:可根據(jù)顧客需要進(jìn)行開槽和背膠處理。
產(chǎn)品特點(diǎn)
1. 質(zhì)地細(xì)膩、平整度優(yōu)異、不脫毛;
2. 高去除速率;
3. 優(yōu)異的拋光重復(fù)性,表現(xiàn)穩(wěn)定;
4. 拋光后可以達(dá)到無(wú)劃痕、無(wú)橘皮的鏡面效果。
應(yīng)用領(lǐng)域
GRISH拋光墊用于藍(lán)寶石、硅晶片等硬脆材料的終道CMP拋光,也可用于不銹鋼、鋁合金等金屬材料的鏡面拋光。