特征
--------------------------------------------------------------------------------
軟硬件垂直整合優(yōu)勢,并且采用高精密,高剛性直驅(qū)馬達,重復(fù)精度達±0.02mm,回轉(zhuǎn)半徑小,空間使用率高。
應(yīng)用
--------------------------------------------------------------------------------
適用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)(晶圓取放)、光電產(chǎn)業(yè)(小型面板、小型太陽能板)、LED產(chǎn)業(yè)(藍寶石基板、膠環(huán))等取放設(shè)備。
規(guī)格資料
--------------------------------------------------------------------------------
多軸機器人綜合型錄下載:點擊下載