電阻率是決定半導(dǎo)體材料電學(xué)特性的重要參數(shù)，為了表征工藝質(zhì)量以及材料的摻雜情況，需要測試材料的電阻率。半導(dǎo)體材料電阻率測試方法有很多種，其中四探針法具有設(shè)備簡單、操作方便、測量精度高以及對(duì)樣品形狀無嚴(yán)格要求的特點(diǎn)。因此，目前檢測半導(dǎo)體材料電阻率，尤其對(duì)于薄膜樣品來說，四探針是較常用的方法。
四探針測試原理
四探針技術(shù)要求使用四根探針等間距的接觸到材料表面。在外邊兩根探針之間輸出電流的同時(shí)，測試中間兩根探針的電壓差。電阻率通過樣品的幾何參數(shù)，輸出電流源和測到的電壓值來計(jì)算得出。
普賽斯儀表S型源表能四線法測電阻嗎？對(duì)線纜要求？
①可以的，使用其四線測量模式；
②四探針測試時(shí)一般是恒流測電壓，而所加的電流一般在m*，所以對(duì)線纜基本沒有要求
需要測試的參數(shù)：
表面電阻率
需要儀器列表：
S型國產(chǎn)源表
探針臺(tái)或夾具
可編程溫箱
軟件
高校相關(guān)專業(yè)
材料專業(yè)
化學(xué)專業(yè)
武漢普賽斯儀表自主研發(fā)的高精度源表（SMU），可以在輸出電流時(shí)測試電壓，也可以在輸出電壓時(shí)測試電流。輸出電流范圍從皮安級(jí)到安培級(jí)可控，測量電壓分辨率 高達(dá)微伏級(jí)。支持四線開爾文模式，適用于四探針測試，可以簡化測試連接，得到準(zhǔn)確的測試結(jié)果。
上位機(jī)軟件指導(dǎo)電阻率測試步驟，測試方法清晰明確，即使不熟練的工程師也能迅速掌握測試方法。 內(nèi)置電阻率計(jì)算公式，測試結(jié)束后直接從電腦端讀取計(jì)算結(jié)果，方便靈活的做后續(xù)處理分析系統(tǒng)主要由源測量單元、探針臺(tái)和上位機(jī)軟件組成。四探針可以通過前面板香蕉頭或者后面板三同軸接口連接到源表上。
