1概覽

The Fully Automated AFM for Accurate Inline Metrology of Hard Disk Head Sliders that makes doing great work simpler.

Park Systems的PTR系列是針對(duì)全自動(dòng)工業(yè)級(jí)線上的原子力顯微鏡解決方案，適用于（不限于）長(zhǎng)形條、磁頭萬向節(jié)組件(HGA)級(jí)滑塊以及單獨(dú)滑塊的極尖沉降自動(dòng)測(cè)量。憑借著亞納米級(jí)精確度、高重復(fù)精度以及高通量，PTR系列是滑塊廠商提高整體產(chǎn)量的理想測(cè)量工具。

Inline Automation, for Fast, Accurate, and Repeatable PTR Measurements

硬盤驅(qū)動(dòng)滑塊制造業(yè)要求工具不僅可以快速且流暢地測(cè)量極尖沉降，同時(shí)還要保證高標(biāo)準(zhǔn)的精確度。這便是Park NX-PTR大展身手的領(lǐng)域。在超精確的極尖沉降測(cè)量之外，自動(dòng)化功能可*程度提高效率。這讓NX-PTR成為硬盤驅(qū)動(dòng)器滑塊廠商的選擇，兼顧的質(zhì)量和高的產(chǎn)量。

High Throughput,with No Need for Multiple Reference Scans

大多數(shù)原子力顯微鏡需要多次掃描才可以準(zhǔn)確測(cè)量極尖沉降，首先是大區(qū)域參考掃描，隨后小區(qū)域高分辨率掃描。多次掃描占用大量時(shí)間，且限制了通量的提高。我們的掃描系統(tǒng)帶來真正的平面掃描，有效地降低掃描次數(shù)。此外，True Non-Contact?模式讓探針保持鋒利，在延長(zhǎng)使用壽命的同時(shí)，提供更持久的高分辨率成像效果。相應(yīng)地，Park NX-PTR能夠生成感興趣區(qū)域的詳細(xì)準(zhǔn)確圖像，而無需進(jìn)行參考掃描，以便修正掃描器偽影。

2應(yīng)用

Automated Inline Measurements of Hard Disk Sliders

隨著硬盤滑塊的尺寸越來越小，復(fù)雜性越來越高，提高產(chǎn)量的關(guān)鍵在于實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的精確度。

Park NX-PTR恰恰具備這樣的精確且自動(dòng)的硬盤滑塊測(cè)量。

Automatic PTR Measurement and Analysis

借助NX-PTR系統(tǒng)，極尖沉降測(cè)量可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)，帶來更高的通量，無論是對(duì)于載體、長(zhǎng)形條，還是滑塊。

Park Systems的工業(yè)級(jí)院里子顯微鏡精確且穩(wěn)定的全自動(dòng)化極尖沉降(PTR)測(cè)量成為可能。

極尖沉降量的監(jiān)測(cè)要求測(cè)量精度達(dá)到0.1 mm，這意味著離測(cè)量表面只有20 μm遠(yuǎn)。

Automatic Wall Angle Measurement & Analysis

實(shí)現(xiàn)各類墻角的自動(dòng)測(cè)量與分析。

Automatic Defect Measurement and Analysis

實(shí)現(xiàn)各類缺陷的全自動(dòng)測(cè)量與分析，如表面尖角。

Park NX-PTR features

Low Noise XYZ Position Sensors for more accurate scans

NX-PTR擯棄了常見的非線性Z軸電壓信號(hào)，而是采用超低噪聲Z軸探測(cè)器，從而帶來的形貌高度精度。憑借著行業(yè)的低噪聲Z軸探測(cè)器，正向掃描和反向掃描間隙得以降到掃描范圍的0.15%以內(nèi)，甚至可以忽略不計(jì)，而這時(shí)Z軸形貌信號(hào)所無法企及的。

Minimal Thermal Drift and Hysteresis reduces tip drift

NX-PTR具備突出的熱穩(wěn)定性和機(jī)械穩(wěn)定性，從而大大降低熱漂移，實(shí)現(xiàn)更為精確的測(cè)量。一般情況下，橫向熱漂移率低于100 nm/°C，而垂直熱漂移率則低于200 nm/°C。

Automatic Measurement Control so you can get accurate scans with less work

NX-PTR配有自動(dòng)化軟件，操作起來輕而易舉。您只需要選擇想要的測(cè)量程序，并設(shè)定相應(yīng)的懸臂調(diào)諧、掃描速率、增益和點(diǎn)參數(shù)，便可取得多位置分析。此外，Park的用戶友好型界面讓您能夠隨意創(chuàng)建自定義作業(yè)程序，以便您*發(fā)揮NX-PTR的實(shí)力，滿足所有的測(cè)量需求。創(chuàng)建新的作業(yè)程序簡(jiǎn)單，新測(cè)量文件創(chuàng)建只需要10分鐘，而修改現(xiàn)有的測(cè)量文件則不超過5分鐘。

Park NX-PTR’s automated system features:

自動(dòng)、半自動(dòng)和手動(dòng)模式，讓您掌控全局

各自動(dòng)程序的可編輯測(cè)量方法

測(cè)量過程實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)

自動(dòng)分析所獲取的測(cè)量數(shù)據(jù)

3選配

Productivity meets Accuracy

Automatic Tip Exchange

Park推出的自動(dòng)探針更換系統(tǒng)讓您的自動(dòng)測(cè)量程序可以無縫續(xù)航。該系統(tǒng)會(huì)根據(jù)參考圖形測(cè)量數(shù)據(jù)，自動(dòng)校正懸臂的位置和優(yōu)化測(cè)量設(shè)定。創(chuàng)新的磁性探針更換成功率高達(dá)99%，讓您無需分心監(jiān)督探針更換.

Automatic Laser Beam Alignment

Park的自動(dòng)激光準(zhǔn)直系統(tǒng)讓您無需輸入任何數(shù)據(jù)，便可持續(xù)自動(dòng)測(cè)量。憑借著我們*的預(yù)準(zhǔn)直懸臂架，激光在自動(dòng)更換探針時(shí)便已對(duì)準(zhǔn)懸臂。只需要調(diào)整定位旋鈕，便可在X和Y軸上任意定位激光光點(diǎn)，達(dá)到位置。

Customize your AFM to make it more efficient and more effective

Ionization System for a more stable scanning environment

創(chuàng)新的離子化系統(tǒng)能夠快速有效地消除樣品的靜電電荷。由于系統(tǒng)能夠讓陰陽(yáng)離子保持完美的平衡狀態(tài)，樣品得以處在極其穩(wěn)定的電荷環(huán)境中。同時(shí)，對(duì)周邊區(qū)域的污染幾乎可以忽略不計(jì)，并將樣品操作時(shí)意外產(chǎn)生靜電電荷的幾率降到低。