高性價比的超高純壓力變送器美國西特
高性價比的超高純壓力變送器美國西特
Setra 227 型壓力變送器專為高密度的模塊式 “Block” 氣體棒和面板設(shè)計，能夠滿足如今 300 mm 工具的要求。該型號占用空間僅 11/8″，能節(jié)省寶貴的空間 ；結(jié)構(gòu)堅固，是要求*穩(wěn)定性、高精度和適合在惡劣環(huán)境使用的壓力測
量應(yīng)用于
·11/8″“Block”氣體棒和面板
·高純度氣體輸送系統(tǒng)
·半導(dǎo)體過程工具的理想選擇。
與其他采用大體積封頭腔室的產(chǎn)品不同， Setra 227 型壓力變送器采用了易于吹掃的小型傳感器腔室設(shè)計。所有接液部件均采用 VIM/VAR 316L 不銹鋼制造，且表面鈍化拋光至 5 Ra（蕞大 7 Ra），確保表面平整且耐化學(xué)腐蝕，實現(xiàn)無污染氣體輸送。
227 型壓力變送器可選 5 VDC、 10 VDC 或 4-20mA 三種輸出類型，精度達(dá) ±0.25% FS 或 1.0% 讀數(shù)。該型號可選符合工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的 11/8″帶 C 型或 W 型密封的朝下安裝的壓力接口，另外還可使用多芯電纜、 4 針卡口接頭和 9 針或 15 針D-sub 接頭進行電氣連接。與 328 型 11/8″旋轉(zhuǎn)顯示屏配合使用時， 227 型可實現(xiàn)理想的壓力測量和顯示。零點和量程調(diào)整裝置位于旋轉(zhuǎn)保護罩下方的側(cè)面。用戶還可選擇絕壓、表壓或復(fù)合壓測量范圍。
高性價比
227 型壓力變送器采用 Setra 磚利的可變電容技術(shù)，配有316L 不銹鋼隔膜和絕緣電極板。絕緣電極板與傳感器本地構(gòu)成可變電容。當(dāng)氣體壓力提升時，隔膜會變得略圓，使電容減小。傳感器將檢測到電容變化，并基于磚利的電荷平衡原理，通過 Setra *的定制集成電路將其轉(zhuǎn)換為高精度的線性直流電信號。Setra 所有的超高純系列產(chǎn)品都基于 Setra 成熟的電容傳感技術(shù)制造，能提供幾乎不受 EMI/RFI 干擾的高精度、穩(wěn)定的電壓或電流輸出信號。
表壓、復(fù)合壓、絕壓可選
PSI或BAR量程可選
11/8"下法蘭安裝
Setra 的227型傳感器于當(dāng)今的300mm工具所要求的高密度、模塊式block
氣體棒和面板。227型1-1/8"的占地面積優(yōu)化了有價值的空間，其堅固的設(shè)計使
其非常適合那些要求*穩(wěn)定性、高精度和對惡劣環(huán)境格外不敏感的壓力測量應(yīng)
用。
與其它具有較大死端空泡體積的設(shè)計不同，227型具有一個方便洗滌的小排量
傳感器艙。所有濕潤部件均為優(yōu)質(zhì)VAR316LSS材料，電解拋光至5Ra（10
max.）的終飾。每一個傳感器都經(jīng)質(zhì)譜儀進行過高達(dá)1x10-9atm.cc/sec的氦
滲漏試驗。
可選擇5VDC、10VDC或4-20mA輸出，227型可提供±0.25%全量程或
±1.0%的讀數(shù)精度。227型配備了一個節(jié)省空間的11/8"C型密封件下安裝接口
底座，并可選擇多芯電纜、4針bayonet連接器和一個9針或15針D型連接器
用于電氣終端。加上327型的1-1/8"可旋轉(zhuǎn)顯示器，該產(chǎn)品包達(dá)到了壓力測量
及顯示的Ji致。
該*設(shè)計包括在旋轉(zhuǎn)保護蓋下面的側(cè)接近至零點及范圍調(diào)節(jié)，可選擇絕隊壓、
表壓或復(fù)合壓。
Setra 獲専利的可變電容傳感器的特點在于一個316L不銹鋼膜片和一個絕緣電Ji
板。在傳感器主體和電Ji板之間形成一個可變電容器。壓力的增加致使膜片略微
變圓，從而增加了電容。通過Setra *的定制集成電路檢測電容值的變化，并
利用獲専利的電荷平衡原理將其轉(zhuǎn)換成高度精準(zhǔn)的線性DC電信號。
Setra 的整個超高純系列均基于Setra 的被廣泛認(rèn)可的電容傳感技術(shù)，高度精準(zhǔn)和
穩(wěn)定的電壓或電流輸出信號基本上可抑制電磁干擾/射頻干擾（EMI/RFI）。
泄露率低
易于吹掃的小腔室
200PSI/250PSI/3000PSI
應(yīng)用
模塊式1-1/8"氣體棒和面板
高純氣體傳輸系統(tǒng)
半導(dǎo)體工藝工具
好處
出色的穩(wěn)定性，可避免停機
抗EMI/RFI功能防止假停機
符合CE標(biāo)準(zhǔn)
UltraHighPurity(超高純應(yīng)用壓力傳感器)
我們提供所有Setra 產(chǎn)品的應(yīng)用幫助，其中包括人員幫助和文獻幫助，
而客戶有責(zé)任確定該產(chǎn)品的適用性。
227型的技術(shù)規(guī)格
性能數(shù)據(jù)
jing確RSS*（恒定溫度下）讀數(shù)±1.0%或±0.25%全量程
非線性，BFSL±0.15%全量程
滯后0.20%全量程
非重復(fù)性0.02%全量程
熱效應(yīng)
補償范圍oF（℃）+15至+150（-9到+65）
零點漂移%FS/100oF（50℃）2.0（1.8）
范圍漂移%FS/100oF（50℃）2.0（1.8）
加熱漂移0.1%全量程
在額定70oF下校驗過的設(shè)備。
根據(jù)此數(shù)據(jù)而計算的zui大溫度誤差。
環(huán)境數(shù)據(jù)
溫度
工作溫度*oF（℃）-40至+185（-40到+85）
儲存溫度oF（℃）-40至+185（-40到+85）
工作溫度僅是電子設(shè)備的溫度Ji限。
受壓媒介的溫度可能要高或低很多。
物理描述
外殼不銹鋼
電氣連接182.88cm.多芯電纜，Bayonet
連接器或D-型連接器
壓力接頭下安裝“C”型密封
通風(fēng)通過零點和范圍接近孔
重量6.5oz（184g）
電氣數(shù)據(jù)（電壓）
電路3根導(dǎo)線（Exc、Out、Com）
激勵10至30VDC（5VFSO）
13至30VDC（10VFSO）
輸出*0至5VDC或0.2至5.2VDC**
0至10VDC或0.2至10.2VDC**
電流消耗<8mA
校準(zhǔn)精度為50Kohm負(fù)荷，可操作5000ohm或更大的負(fù)荷。
零點輸出的出廠設(shè)置在±25mV之內(nèi)（限5VDC輸出）
或±50mV（限10VDC輸出）。
范圍（全量程）輸出的出廠設(shè)置在±25mV之內(nèi)
（限5VDC輸出）或±50mV（限10VDC輸出）。
電氣數(shù)據(jù)（電流）
電路2根導(dǎo)線
輸出4至20mA
外部負(fù)荷0至800Ohm
zui大電源電壓（VDC）=10+0.02x（接收器正Ji導(dǎo)線的電阻）。
zui大電源電壓（VDC）=30+0.004x（接收器正Ji導(dǎo)線的電阻）。
出廠時以24VDC回路電壓和一個250ohm負(fù)荷，進行校準(zhǔn)。
零點輸出的出廠設(shè)置在±0.08mA之內(nèi)。
范圍（全量程）輸出的出廠設(shè)置在±0.08mA之內(nèi)。
壓力媒介
與316L不銹鋼相兼容的液體或氣體。
產(chǎn)品規(guī)格如有變更，恕不另行通知。
型號 表壓、絕壓或復(fù)合壓測量范圍 類型 壓力接口 輸出 電氣接口 精度227G=227 025P 0~25 PSI 1R7B 0~1.7 Bar A絕壓 E5 下裝“C”型密封 11 4-20 mA 06 6英尺多芯電纜F ±0.25% FS（帶標(biāo)定證書）
（1.125″底座）050P 0~50 PSI 3R4B 0~3.4 Bar C 復(fù)合壓 2B 0-5 VDC B1 4 針卡口接頭 J ±1.0%讀數(shù)（帶標(biāo)定證書）
100P 0~100 PSI 007B 0~7 Bar G 表壓 2C 0-10 VDC D1 15 針 D-sub 接頭 *
250P 0~250 PSI 017B 0~17 Bar 33 0.2-5.2 VDC D9 9 針 D-sub 接頭 *
500P 0~500 PSI 035B 0~35 Bar 59 0.2-10.2 VDC
10CP 0~1000 PSI 070B 0~70 Bar N1 4-20 mA*
30CP 0~3000 PSI 200B 0~200 Bar
僅適用于復(fù)合壓 僅適用于絕壓
Z01P -14.7~85.3 PSI 10CT 1000 Torr
Z02P -14.7~235.3 PSI 15CT 1500 Torr
Z03P -14.7~985.3 PSI
Z05P -14.7~2985.3 PSI
認(rèn)證不易燃認(rèn)證：適用于潛在危險區(qū)域的認(rèn)證：
北美：可選認(rèn)證，適用于 ANSI/ISA-12.2.01-2011 標(biāo)準(zhǔn)中列出的 1 類 2 區(qū) A、 B、 C、 D 組危險區(qū)域
歐洲：符合標(biāo)準(zhǔn) EN60079-0:2012 的 ATEX 94/9/EC 2 區(qū)認(rèn)證或 EN60079-15:2010 11 3G Ex nA IIC T4 Gc -30℃ < Ta<+ 80℃認(rèn)證
