參數(shù) 粗糙度，波紋度參數(shù)，p參數(shù) 輪廓元素半徑，距離，角度測針 lpD10-10-2/60 lpD10-10-500驅(qū)動(dòng)器 MarSurf LD 130/ MarSurf LD 260測量長度 0.1-130mm/0.1-260mm測量范圍 13mm（100mm測針） 13mm（200mm測針）測力（z方向） 0.5mN to 30mN，可在軟件中設(shè)置分辨率（z方向） 0.8mm定位速度 0.02mm/s up to 200mm/s殘余誤差 Rz0≤20mm當(dāng)vt=0.1mm/s Rq0≤1nm，典型粗糙度參數(shù)： Ra，Rq，Rz（Ry符合jls且與Rz對應(yīng)），Rmax，RPc，Rz(jls),Rt.Rp(Rpm符合ASME且與Rp對應(yīng))，Rv，R3z.RSm,RS(與S對應(yīng)，符合JIS)Rsk，Rku，Rdq，Rlp，Rdc.R HSC . RMr*,RMr*.核心粗糙度參數(shù)： RK,RpK,RvK,RpKx,RvKx,Mr1,Mr2,A1,A2,V0表面參數(shù)，p輪廓： Pa,Pq,Pt,Pp,Pv,PSm,Psk,Pku,Pdq,Plq,Pdc,P HSC,PPc.PMr*,PMr*,PMr*,P TIR-1,P TIR-2.Rz(JIS 1962)表面參數(shù)，w輪廓： Wa,Wq,Wt,Wp,Wv,WSm,Wsk,Wku,Wdq,Wdc,WMr*.WMr*,WMr*,W TIR-1,W TIR-2,Wst表面參數(shù)，motif（iSO 12085）: R,AR,W,AW,Rx,Wx,Wte,Nr,Ncrx,Nw,Cpm,CR,CF,CL,ISO 5436 表面參數(shù)： Pt5436 D參數(shù)表： Rz-L,Rp-L,R3-L,Rdc-L,RMr-L,Pdc-L,PMr-L ? 超大測量范圍 130 /260 mm ? 輪廓和粗糙度在一次測量中完成 ? 超高測量和移動(dòng)速度節(jié)約了測量時(shí)間 ? 創(chuàng)新測頭系統(tǒng)設(shè)計(jì)? 磁性裝夾可快速可靠的更換測針，并同步識(shí)別 MarSurf LD 130 ? 260 mm超長掃描長度 (MarSurf LD 260)一次掃描落差 13 mm (100 mm 測針長度)或 26 mm (200 mm 測針長度) ? 模塊化結(jié)構(gòu)，維護(hù)方便 ? 維護(hù)時(shí)不用*拆卸 ? 超高測量和移動(dòng)速度MarSurf LD 130 / LD 260 馬爾測量儀器運(yùn)用的技術(shù)，可在一次測量中非常優(yōu)秀的同時(shí)完成輪廓和粗糙度測量。MarSurf UD 120， LD 130以及 MarSurf LD 260，這些測量站集合了*代測量儀器的經(jīng)驗(yàn)，并進(jìn)行了深度開發(fā)。

關(guān)鍵詞：驅(qū)動(dòng)器