產(chǎn)品型號(hào)：SuperView W1

產(chǎn)品名稱(chēng)：光學(xué)3D表面輪廓儀

• 影像系統(tǒng)：1024×1024（2048×2048，2592×1944可選）
• 光學(xué)Zoom：1×，（0.75×，0.5×可選）
• 干涉物鏡：2.5×，5×，10×，20×，50×
• XY平臺(tái)：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電控
• XY橫向分辨率：≤0.4μm
• Z軸行程：≥100mm
• Z向分辨率：0.1nm
• 單次Z向掃描范圍：10.3mm，厚度重復(fù)性≤1nm
• Z向掃描速度：≥45μm/s
• 可測(cè)樣品高度：≥100mm
• 可測(cè)樣品反射率：0.05%-*
• 水平調(diào)整：±5°
• 粗糙度RMS重復(fù)性：0.005nm
• 臺(tái)階高測(cè)量：準(zhǔn)確度＜0.7%，重復(fù)性＜0.1% 1σ
• 主要特點(diǎn)：非接觸式無(wú)損檢測(cè)，一鍵分析、快速高效

詳細(xì)信息

  一、 產(chǎn)品描述

　　SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。

　SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車(chē)零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。可測(cè)各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。

二、    產(chǎn)品功能

1）具備各種類(lèi)型樣品表面微觀形貌的3D輪廓重建與測(cè)量功能；

2）具備表面粗糙度和微觀輪廓的檢測(cè)功能，粗糙度范圍涵蓋0.1nm到數(shù)十微米的級(jí)別；

3）具備校平、去除形狀、去噪、濾波等數(shù)據(jù)處理功能；

4）具備粗糙度分析、輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、功能分析等表面參數(shù)分析功能；

5）具備自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)測(cè)量、自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量、自動(dòng)拼接測(cè)量等自動(dòng)化功能；

6）具備一鍵分析、多文件分析等快速、批量分析功能；

7）具備word、excel等數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能。

三、    應(yīng)用領(lǐng)域

　　對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

四、性能特色

1.高精度、高重復(fù)性

1）采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測(cè)量系統(tǒng)，保證測(cè)量精度高；

2）*的隔振系統(tǒng)，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動(dòng)，消除地面振動(dòng)噪聲和空氣中聲波振動(dòng)噪聲，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車(chē)間環(huán)境中能穩(wěn)定使用，獲得*的測(cè)量重復(fù)性。

2.一體化操作的測(cè)量分析軟件

1）測(cè)量與分析同界面操作，無(wú)須切換，測(cè)量數(shù)據(jù)自動(dòng)統(tǒng)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了快速批量測(cè)量的功能；

2）可視化窗口，便于用戶實(shí)時(shí)觀察掃描過(guò)程；

3）結(jié)合自定義分析模板的自動(dòng)化測(cè)量功能，可自動(dòng)完成多區(qū)域的測(cè)量與分析過(guò)程；

4）幾何分析、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全；

5）一鍵分析、多文件分析，自由組合分析項(xiàng)保存為分析模板，批量樣品一鍵分析，并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計(jì)圖表功能；

6）可測(cè)依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D、3D參數(shù)。

3.精密操縱手柄

　　集成X、Y、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺(tái)平移、Z向聚焦、找條紋等測(cè)量前工作。

4.主動(dòng)式隔振臺(tái)

　　具備空間6自由度的檢測(cè)和平衡控制，氣浮自適應(yīng)模式，能有效隔離2HZ以上振動(dòng)噪聲，其中2HZ=15dB噪聲隔振效果達(dá)到90%，5HZ=28dB噪聲隔振效果達(dá)到97%，10HZ=40dB噪聲隔振效果達(dá)到99%；大承重≥150kg。

5.持續(xù)的功能優(yōu)化

　　圍繞客戶需求進(jìn)行持續(xù)的軟硬件升級(jí)優(yōu)化，定期更新軟件版本進(jìn)行升級(jí)，提供適度的功能定制服務(wù)。

6.雙重防撞保護(hù)措施

　　除初級(jí)的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外，另在Z軸上設(shè)計(jì)有機(jī)械電子傳感器，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時(shí)，儀器自動(dòng)進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài)，大限度的保護(hù)儀器，降低人為操作風(fēng)險(xiǎn)。