測量精度:≤±5%

測量原理：指針電感觸方式

測量范圍：100 um

測量速度： 0.5 mm/s

輪廓分辨率：12 nm

濾波:高斯(自動確定) 

取樣長度: 0.25, 0.8, 2.5 mm

掃描長度按DIN/ISO : 1.75, 5.6, 17.5 mm

取樣長度數(shù)目: 1到5 ,可選擇

參數(shù) : DIN/ISO : Ra, Rz, Rmax, Rq,Rp,Rt,R3z,Ry,Rk,Rvk,

              Rpk,Mr1,Rr2,Pc,Mk ,Sm,S,tp.

             : JIS : Ra, Rz

垂直方向標(biāo)定:自動

水平方向標(biāo)定:根據(jù)取樣長度

記錄: R-輪廓，數(shù)據(jù)輸出

打印機:自動打印/內(nèi)置式打印

紙寬: 57.5 mm

計量單位: um / uin ,可選擇

顯示: LCD顯示

語言:中文操作界面，10種歐洲語言和其它2種亞洲語言