高重頻DPSS二極管泵浦皮秒激光器COMPILER HPRR
COMPILER HPRR皮秒激光器提供uJ級(jí)單脈沖能量,重復(fù)頻率可達(dá)10kHz,是COMPLILER系列新款激光器。此款激光器具有廣泛應(yīng)用,尤其是晶圓切割、微納米加工、半導(dǎo)體劃線、遙感等。
產(chǎn)品特性:
- 8皮秒脈沖寬度,
- 65µJ @1064 nm,20µJ@355 nm,12µJ @266nm
Ø 脈沖重復(fù)頻率14kHz,
- TEM00模式
Ø 風(fēng)冷
Ø 外觸發(fā)或計(jì)算機(jī)控制,包括突發(fā)模式
Ø 可定制升級(jí)到100µJ/1064NM/20 kHz
典型應(yīng)用:
Ø 微加工(晶片、太陽(yáng)能電池板、玻璃和金屬等微米級(jí)加工)
Ø 光掩膜制備和修復(fù)
Ø 紫外和時(shí)間分辨譜,單雙光子激光誘導(dǎo)熒光LIF
Ø 測(cè)距和遙感
Ø 激光消融、分裂和破壞
Ø 生物醫(yī)學(xué)研究
高重頻DPSS二極管泵浦皮秒激光器COMPILER HPRR參數(shù)配置*
波長(zhǎng) | 1064 nm | 532 nm | 355 nm (optional) | 266 nm (optional) |
脈沖能量 (at 14 kHz) | 65 µJ | 35 µJ | 15 µJ | 10 µJ |
脈沖寬度 (at 1064 nm) | 8 ps | 7 ps | 6 ps | 5 ps |
重復(fù)頻率 | 14 kHz, Internal/external triggering | |||
Q-switch | Passive | |||
光束質(zhì)量 | 衍射極限 | |||
光斑模式 | TEMoo 近高斯 | |||
脈沖標(biāo)準(zhǔn)偏差 | 3% @1064 nm | |||
指向穩(wěn)定性(std dev, 1 hour) | ~0.5 衍射極限 | |||
外部控制 | TTL 觸發(fā)輸入端口連接(4 +/-1V, 1 kΩ) | |||
電源 | ~ 100-240VAC, 47-63 Hz, single phase | |||
功耗 | <300 W | |||
預(yù)熱 | Less than 5 minutes | |||
工作溫度濕度 | 18-25 oC; 10-85 % |
* 更高功率可選
裝箱清單: 激光頭、泵浦源、光纖器件、信號(hào)線、電源線、手冊(cè)及控制軟CD
上面是一張50um直徑激光孔(前板和后板兩側(cè))的照片,10秒內(nèi)(266nm,5ps,10uJ,12kHz)在300um厚的鋁板上鉆孔