IPEXTM 840/860系列工業(yè)級(jí)*
應(yīng)用于電子、通信、半導(dǎo)體、醫(yī)療設(shè)備和脈沖激光沉積的工業(yè)級(jí)*
ª 采用ICONTM技術(shù)，延長氣體壽命，降低成本
ª EasyClean自動(dòng)密封鏡片功能，可在清洗更換鏡片時(shí)密封激光腔
ª 可選高亮度光學(xué)元件，來滿足要求小發(fā)散角和長相干長度的應(yīng)用
ª 高穩(wěn)定鏡片支架可獲得*的光束指向精度
ª 易于集成到工業(yè)加工系統(tǒng)
IPEX-840/860系列*性能*、可靠性高，廣泛適用于使用要求高、生產(chǎn)負(fù)荷重的各種工業(yè)制造領(lǐng)域，如電子、半導(dǎo)體和醫(yī)療設(shè)備制備以及脈沖激光沉積（PLD）等應(yīng)用。由于采用了ICONTM(鎳基集成陶瓷)技術(shù)，IPEX系列激光器既降低了運(yùn)行成本，又能提供優(yōu)秀的光學(xué)性能。對(duì)于需要長工作光路和小發(fā)散角（激光雷達(dá)），或需要長相干長度（FBG刻寫）以及需要改進(jìn)聚焦性能的場合，可以選擇高亮度（非穩(wěn)腔）鏡片。IPEX-840/860系列激光器具有易于使用、便于維護(hù)和運(yùn)行經(jīng)濟(jì)的特點(diǎn)，它將高精密準(zhǔn)分子激光加工、低運(yùn)行成本和高運(yùn)行時(shí)間很好地結(jié)合在一起，是一款*的優(yōu)秀的*。
特點(diǎn)
ª ICON激光腔
ª EasyClean自動(dòng)密封鏡片功能
ª *的鏡片支架
ª 腔鏡固定技術(shù)
ª 能量穩(wěn)定控制
ª 預(yù)電離
ª 內(nèi)部氣體過濾設(shè)備
優(yōu)點(diǎn)
ª 氣體壽命長，更換時(shí)間間隔長，運(yùn)行成本低
ª 簡化了光路維護(hù)，填充氣體和鈍化效果保持*
ª 200μrad指向穩(wěn)定性
ª 鏡片清潔重裝后不需要重新調(diào)節(jié)
ª 快速、精確、穩(wěn)定的能量控制，可選內(nèi)、外觸發(fā)和Burst工作模式
ª 優(yōu)異的能量穩(wěn)定性，≤1.5% (KrF)
ª 去除微粒，保持主鏡片潔凈
規(guī)格
激光器規(guī)格參數(shù)詳見產(chǎn)品手冊(cè)或者咨詢我司銷售。
