HR-Femto 200 系列光纖飛秒激光器
HR-Femto 200 系列是由 Huaray 自主研發(fā)生產(chǎn)的,穩(wěn)定、可靠的飛秒脈沖光纖激光器產(chǎn)品,也是國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃專(zhuān)項(xiàng)研發(fā)成果。該系列產(chǎn)品采用光、電一體化設(shè)計(jì),脈寬小于350飛秒,單脈沖能量高達(dá)200微焦,并支持Burst Mode模式,可廣泛應(yīng)用于用于半導(dǎo)體晶圓加工,玻璃等硬脆性材料加工或焊接,高分子材料加工與處理,科研制造等領(lǐng)域,陶瓷與聚合物加工等領(lǐng)域。
HR-Femto 200 系列光纖飛秒激光器
HR-Femto 200 系列是由 Huaray 自主研發(fā)生產(chǎn)的,穩(wěn)定、可靠的飛秒脈沖光纖激光器產(chǎn)品,也是國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃專(zhuān)項(xiàng)研發(fā)成果。該系列產(chǎn)品采用光、電一體化設(shè)計(jì),脈寬小于350飛秒,單脈沖能量高達(dá)200微焦,并支持Burst Mode模式,可廣泛應(yīng)用于用于半導(dǎo)體晶圓加工,玻璃等硬脆性材料加工或焊接,高分子材料加工與處理,科研制造等領(lǐng)域,陶瓷與聚合物加工等領(lǐng)域。
產(chǎn)品特點(diǎn)
· 高達(dá)200微焦的單脈沖能量
· 支持Burst Mode
· 脈寬小于350fs
· 光、電一體化設(shè)計(jì)
· 一鍵式操作,無(wú)任何調(diào)節(jié)旋鈕
· 內(nèi)置光學(xué)隔離裝置
· 內(nèi)置脈沖選擇器
· 可遠(yuǎn)程控制,免維護(hù)
應(yīng)用領(lǐng)域
· 半導(dǎo)體晶圓加工
· 陶瓷與聚合物加工
· 金剛石加工
· 新能源材料加工
· 硬脆性材料加工與焊接
· 難加工金屬加工
· 高分子材料加工與處理
型號(hào) | HR-Femto 200-35 |
中心波長(zhǎng) | 1035nm |
輸出功率 | 35W |
脈沖能量 | 200μJ@175kHz |
峰值功率 | >500MW |
重復(fù)頻率 | 100kHz to 5MHz |
脈沖寬度 | <350fs |
光束質(zhì)量 | M2≤1.3 |
光斑發(fā)散角 | <1mrad,2θ |
光斑圓度 | ≥90% |
光束直徑 | 4±2mm,1/e2 |
偏振比 | >100:1 |
偏振方向 | Vertical |
脈沖能量穩(wěn)定性 | <2%RMS |
功率穩(wěn)定性 | <2%RMS |
啟動(dòng)時(shí)間 | <45min(Cold Start) <15min(Warm Start) |
外部接口 | RS-232, Ethernet, USB |
工作環(huán)境溫度(非結(jié)露) | 20 to 30℃ |
儲(chǔ)存溫度 | -20 to 60℃ |